2015远东无损检测-激上光红外热波成像在膜厚测量中应用.pptVIP

南京诺威尔光电系统有限公司 报告人：江海军 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中应用 江海军 ，陈力 南京诺威尔光电系统有限公司 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中应用 目录 1 2 4 膜厚测量现状分析 激光扫描红外热波成像技术测厚原理分析 检测平台与实验结果 总结 3 随着涂层及薄膜材料的广泛应用，工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求，比如要求在线、动态、非接触、实时进行测量等等，膜层厚度测试变得尤为重要，常见的膜厚测量分为接触式与非接触式，如表1所示。 表1：薄膜厚度测量技术对比 膜厚测量现状分析 1 红外热波无损检测技术是近代发展起来的一项无损检测手段，相比传统的无损检测手段，如超声波、涡流、X射线等技术，红外热波成像技术具有独特的优势，比如非接触、大面积成像、对热学性质敏感等，因此能够满足现代工业很多对膜层厚度进行检测的要求。 目录 6 1 2 32 4 膜厚测量现状分析 激光扫描红外热波成像技术测厚原理分析 检测平台与实验结果 总结 图2-1：激光扫描红外热波成像技术示意图 图2-2：试件表面温度-时间变化曲线 激光扫描红外热波成像无损检测技术原理 2 2.1 激光扫描无缺陷区域温度场分析 在t=0时刻植入点热源后，样品中的温度梯度场分布为：