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电阻热蒸发真空镀膜机原理及使用 张克雄 大连光电技术研发中心 2011-9-3 DM-300B型 蒸发镀膜原理 在真空条件下，通过加热蒸发源使蒸发源中的物质蒸发，蒸汽的原子或分子从蒸发源表面逸出，沉积到基片上凝结形成薄膜 热蒸发镀膜的三个物理过程 采用蒸发或升华把固态材料转变为气态 原子(分子)从蒸发源迁移到基片上 基片表面上膜粒子重新排列而凝聚成膜 镀膜机组成 镀膜室：主要包括四对螺旋状钨丝或舟状蒸发加热器；旋转基片支架；烘烤加热器；热电偶测温探头；离子轰击环；针阀；观察窗等 真空获得系统。它主要由机械泵、分子泵、高低真空阀、充气阀、电磁阀等组成 真空测量系统。它由热偶计和电离计组合的复合真空计而成，热偶计是用于测量低真空度，范围 102～10-1 Pa，电离计是用于测量高真空度，范围 10-1 ～10-6Pa。 电路控制系统。它主要由机械泵、扩散泵、电磁阀控制电路和镀膜蒸发加热器控制电路、钟罩升降控制电路、基片支架旋转调速控制电路、烘烤加热温度控制电路、离子轰击电路等组成。 镀膜机示意图 真空单位及转换 真空度划分 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 低真空的获得（机械泵） 高真空的获得（分子泵） 分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。极限真空度在10-5-1