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石英晶体基础知识 目 录 一、石英晶体的基本知识………………………………………………………… 2 1、化学物理特性……………………………………………………………… 2 2、石英晶体的振动模式……………………………………………………… 3 3、石英晶片的切型…………………………………………………………… 5 二、AT 石英谐振器的特性………………………………………………………… 8 1、频率方程…………………………………………………………………… 8 2、AT 切石英谐振器的频率温度特性………………………………………… 8 三、AT 切石英谐振器的加工制造………………………………………………… 15 1、X 光定向粘板……………………………………………………………… 15 2、石英晶片切割……………………………………………………………… 16 3、X 光测角…………………………………………………………………… 17 4、粘砣，切籽晶及改圆……………………………………………………… 17 5、研磨………………………………………………………………………… 18 6、滚筒倒边…………………………………………………………………… 18 7、石英片的腐蚀……………………………………………………………… 19 8、镀基膜……………………………………………………………………… 19 9、石英晶体的装架…………………………………………………………… 20 10、微调……………………………………………………………………… 22 11、真空烘烤和封装………………………………………………………… 22 12、密封性能检查…………………………………………………………… 23 13、石英谐振器的老化……………………………………………………… 23 14、石英谐振器的测试……………………………………………………… 23 一、 石英晶体的基本知识 1、化学物理特性 ① 水晶的成份SiO2，在常压下不同温度时，石英晶体的结构不同，温度T＜573 ℃时α石英晶体，当573℃＜T＜870℃时β石英晶体，熔点是 说的压电石英晶体指α石英晶体。 ② 具有压电特性： 发现 压电效应： 某些介质由于外界机械作用（如压缩，拉伸等等）而在其内部发生极化， 产生表面电荷的现象叫压电效应。 逆压电效应： 某些介质置于外电场中，由于电场的作用，会引起介质内部正负电荷中 心的位移，导致介质发生形变，这种效应称为逆压电效应。 石英晶体在沿X 轴（或Y 轴）方向的力的作用时，在X 方向产生压电效应， 而Y 和Z 方向不产生压电效应，X 轴称为电轴，Y 轴称为机械轴。 ③ 具有各向异性：石英晶体是一种良好的绝缘材料，导热系数在室温附近，沿Z 轴方向是垂直于Z 轴方向的2 倍左右，沿Z 轴方向的线性膨胀系数a3 约为沿 垂直于Z 轴方向线性膨胀系数a1 的1/2，其介电系数ε，压电系数d 等随方向 的不同其数值也不同，在不同温度，导热系数K 与膨胀系数a 的数值也不同。 ④ 是外形高度对称的单晶体，其特征是原子和分子有规则的排列发育良好的石英 晶体，外形最显著的特点是晶面有规则的配置，石英晶体的晶面共30 个，六 个m 面（柱面），六个R 面（大棱面）六个r 面（小棱面）六个s 面（三方偏 锥面)，六个X 面（三方偏面），相邻M 面的夹角度为60°，相邻M 面和R 面的夹角与相邻M 面和r 面的夹角都等于38°13′，相邻s 面与X 面的夹角 为25°57′。 石英晶体存在一个三次对称轴C 和三个互成120°的轴a、b、d，在讨论石 英晶体的物理性质时，采用下图所示的直角坐标系较为方便，选C 轴为z 轴，a （或b、d）轴为X 轴，与X 轴Z 轴垂直的Y 轴，其指向按1949 年IRE 标准规 定，对左右旋晶体均采用右手直角坐标系。 如图：a、b、c、d 为晶体坐标系 X、Y、Z 为直角坐标系 ⑤ 具有双折射现象： 但当光沿Z 轴方向射入时不发生双折射现象，所以又称Z 轴为光轴。 ⑥ 石英晶体的密度ρ=2.65g/cm2，硬度为莫氏硬度7，在常温常压下不溶于三酸 （HCL,H2SO4,HNO3），属于溶解度极小的物质，但是氢氟酸和氟化氢铵却是石英 晶体良好的溶解液，其化学反应方程式 SiO2+4HF=SiF4+2H2O （3SiF4+3H2O=H2SiO3+2H2SiF6） SiO2+4HF+2NH4F=（NH4）2SiF6+2H2 其特性用于石英片的腐蚀。 2、石英晶体的振动模式： 石英晶片在电场作用下，由于内部产生应力而形变，从而产生机械振动，晶片 的振动都是单纯的周期振动，所谓周期（T）就是机械波在传播过程中完成一次循环所需的时间，周期的倒数f 是单位时间内振动的次数，我们称为频率，单