第2章2电阻到式传感器.ppt

2.3 电阻式传感器 电阻式传感器的基本原理是将被测的非电量转换成电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。 测量参数： 力、压力、位移、应变、加速度、温度等 特点： 结构简单、性能稳定、灵敏度较高 第一节 应变式传感器 目前自动测力或称重中应用最普遍的是应变式传感器。 应变式传感器是基于金属电阻的应变效应制成的。 一、工作原理 （一）、金属的电阻应变效应 金属导体的电阻随着机械变形（伸长或缩短）的 大小发生变化的现象称为金属的电阻应变效应。 (二)应变片的基本结构及测量原理 用应变片测量时，将其贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这是用来直接测量应变。 通过弹性敏感元件将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变，则可用应变片测量上述各量，而做成各种应变式传感器。 二、应变片的类型 1.金属丝式应变片（两种结构） a）回线式：横向效应较大 b）短接式：克服了横向效应 金属丝式应变片材料要求： 灵敏系数高、电阻率高、稳定性好、 温度系数小、机械强度高、抗氧化、 耐腐蚀。 3.金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1微米以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，可在 -197～317℃温度范围内工作。 存在问题：温度稳定性差 （六）栅长l，又称基长，一般在2-30mm之间 （七）基宽b，一般在10mm之内 （八）绝缘电阻，指已粘贴的应变片的引线与被测件之间的电阻值，在50-100M欧以上 ③ 热敏电阻法 一、压阻效应 半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应，是指单晶半导体材料沿某一轴向受到外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象。 半导体应变片的电阻变化可由下式表示： 二、半导体应变片的结构特点 半导体应变片分为两类： 体型半导体应变片 体型半导体应变片是将半导体单晶硅或者锗加工成条状，在两端焊上引线后粘贴在胶膜基地上即成。 扩散型半导体应变片 扩散型半导体应变片是在电阻率很大的单晶硅支持片上，定域扩散一层P型(硼)或N型(磷、砷)杂质，形成极薄的导电层，焊上电极即成。 二、半导体应变片的结构特点 半导体应变片的突出特点是灵敏度高，可测微小应变。 半导体应变片的另一个特点是体积小，结构简单，机械滞后小，耗电少。 半导体应变片的缺点： 电阻温度系数大，对环境温度的变化敏感； 测量大应变时灵敏度的非线性严重。 二、半导体应变片的结构特点 因为半导体应变片的两个缺点，在使用半导体应变片时，必须进行温度补偿和非线性补偿，为此研制了相应的补偿型半导体应变片： 2．不平衡直流电桥的工作原理及电压灵敏度 这里假设电桥的一臂R1接入电阻应变片，应变片工作时，其电阻变化 ，此时电桥失去平衡， 输出电压为： 当电桥接入电阻应变片时，即为应变桥（应变片的转换电路）。如果一个桥臂接入应变片，相应的电桥为单臂桥；对应的两个桥臂或四个桥臂接入应变片，相应的电桥称为半桥和全桥。 设桥臂比n = R2/R1, 由电桥平衡条件可知R4/R3 ＝R2/R1＝n ，并且忽略分母中ΔR1/R1得到： 由电桥灵敏度的定义有： 根据 Uo ，所以提高电桥灵敏度的措施有： ① 提高供电电源的电压U（在功耗允许的范围内） ②提高 的取值 由dKU /dn = 0，求KU的最大值（极值）, 得： 故 n=1时，即R1=R2，R3=R4 ，KU取得最大值。  直流电桥的优点： 高稳定度直流电源易于获得； 电桥调节平衡电路简单； 传感器及测量电路分布参数影响小等。 从上面的讨论可知：当R1=R2，R3=R4时, 电桥电压 灵敏度最高, 此时有： n＝1时的电桥，称为对称电桥，实际应用中常采用 这种电桥的形式。 （二）电桥的非线性误差 单臂桥实际输出为： （不忽略分母中的ΔR1/R1） 非线性误差为 对于对称电桥，n=1 （1）采用差动电桥减小非线性误差 在试件上安装两个工作应变片，R1 受拉，R2受压，且应变量相同。接入电桥相邻桥臂, 则电桥输出电压为： 将1/(1+ )按幂级数展开代入 , 再略去高阶量，可得非线性误差： 可见非线性误差 与 成正比。对金属电阻丝应变片，因为 △R非常小，电桥非线性误差可以忽略，但对半导体应变片，因 为灵敏度比金属丝式大得多（50-70倍），受应