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光电子技留术15
* 八、激光器的种类 可按功率、输出激光连续性状况、泵浦、激光工作物质来分。 按功率分:超大、大、中、小功率激光器 按泵浦方法分:光泵浦、电泵浦激光器 按激光运转方式分:连续、 脉冲 单脉冲 重复频率 准连续 按激光调制方式分:自由运转、调Q、锁模 目前已有数百种激光器,输出波长从近紫外直到远红外,辐射功率从毫瓦到万瓦、兆瓦级。 一)、激光器的分类 按激光工作介质分: 固体激光器 (光纤激光器) 气体激光器 半导体激光器 染料激光器 自由电子激光器 化学组成 原子激光器 分子激光器 离子激光器 自由电子激光器 准分子激光器 1.气体激光器 工作物质(气体)均匀性好,输出光束的质量(单色性、方向性)相当高。 以气体或金属蒸汽为工作物质,大多数气体激光器能连续工作,其激励过程涉及的能级比较固定——利用气体放电中的电子碰撞来激发。按气体激光工作物质的能级跃迁类型,又可分为: (1) 原子气体激光器:中性气体原子,如He-Ne激光器 工作气体:He和Ne,比例为:1:10。其中产生激光跃迁的是Ne气。He是辅助气体,用以提高Ne原子的泵浦速率。 谐振腔:多用平凹腔,或由球面镜构成的共焦谐振腔 泵浦源:采用直流高压电使气体放电的泵浦形式 主要输出波长:632.8nm(红光)、1.15?m、3.39 ?m(红外光) 输出功率:1mW-100mW,可连续工作 能量转换效率:较低,万分之几 He-Ne激光器的结构形式很多,但都是由激光管和激光电源组成。激光管由放电管、电极和光学谐振腔组成。 放电管是氦一氖激光器的心脏,它是产生激光的地方。放电管通常由毛细管和贮气室构成。放电管中充入一定比例的氦(He)、氖(Ne)气体,当电极加上高电压后,毛细管中的气体开始放电,受电场加速而获得足够能量的电子与氖原子碰撞时,将氖原子激发到高能态,使氖原子受激,产生粒子数反转。贮气室与毛细管相连,这里不发生气体放电,它的作用是补偿因慢漏气及管内元件放气或吸附气体造成He,Ne气体比例及总气压发生的变化,延长器件的寿命。放电管一般是用GG17玻璃制成。输出功率和波长要求稳定性好的器件可用 热胀系数小的石英玻璃制作。 He-Ne激光器由于增益低,谐振腔一般用平凹腔,平面镜为输出端,透过率约1%~2%,凹面镜为全反射镜。 He—Ne激光器的寿命 He-Ne激光器使用一段时间或存放一段时间后,它的输出功率会逐渐降低,以致最后没有激光输出。现在一般规定输出功率下降到最高功率的1/e的工作时间为器件的寿命。影响器件寿命的因素大致有以下几方面: 1.慢漏气 当放电管密封不严密时,空气中的氮、氢等气体分子会渗透到管内,使放电条件改变并加快氦、氖原子激发态的消失速率,无疑,这将影响器件输出功率。出现慢漏气时,激光器的放电颜色将由正常放电时的橙红色变为紫色(紫色是氮分子辉光放电产生的)。 容易出现慢漏气的地方有:电极与玻璃封接处;谐振腔反射镜或布儒斯特窗与放电管粘合处以及吹制管坯时可能留下来的微小漏气孔。为防止慢漏气,要提高封接工艺水平并改革现有封接方法。 2.放电管内元件放气 放电管内的元件及放电管内壁都会吸附杂质气体,如果除气不彻底,以后就会慢慢释放出来。同时激光管清洗得不干净时,污物和洗液也会放出大量杂质气体,这些杂质气体会改变原充气的气体成分,影响输出功率。 为克服放气,要对放电管及其内部元件进行认真清洁处理和除气。此外,在放电管内可放置吸气剂,例如钡钛、钡铝镍等,它们可吸收大量氮气、二氧化碳、一氧化碳、水蒸气、氧、氢等,但不吸收氦、氖。 3.阴极溅射 阴极在正离子轰击下会产生阴极溅射,溅射出来的金属材料会吸收工作气体,导致管内工作气压降低。同时溅射物质还会污染谐振腔反射镜或布儒斯特窗片。 为了减少溅射,要选用不易溅射的金属做电极,并避免表面放电电流密度超过溅射阈值。为防止溅射物吸收造成的工作气压降低,在充气时可略高于最佳总气压。 4.工作气体的吸附、吸收和渗透 放电管内的工作气体可被电极和管壁吸附在表面,或吸收到金属和玻璃内部,甚至还会透过管壁渗透到大气中去。氖的电离电位比氦低,它比氦更容易被吸附或吸收。氦原于直径比氖小,它渗出管外的能力比氖强。 由于这些原因,管内的总气压和氦、氖气压比会慢慢变化,使之偏离最佳工作状态,造成输出功率下降。 为防止
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