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南臺科技大學 105 學年度第 1 學期課程資訊
課程名稱 電子顯微鏡分析技術
課程編碼 10D14701
系所代碼 01
開課班級 四技自控三甲 四技自控三乙四技奈米三甲四技奈米三乙
開課教師 吳忠春
學分 3.0
時數 3
上課節次地點 一7 8 9 教室K007
必選修 選修
課程概述 介紹材料分析的原理與技術,包括光學顯微鏡、電子顯微鏡、離子束顯微鏡、
X 光繞射及掃描探針技術等,讓選修本課程的同學都能了解材料分析技術的
真諦。接下來再針對『電子顯微鏡』作深入的探討與介紹,了解電子顯微鏡
的結構、原理、產業界實務應用領域及研發功能。
課程目標 學習材料分析相關原理與應用,並了解電子顯微鏡原理與其在材料分析的實
務應用,協助同學建立材料分析的基礎概念。讓選修同學了解SEM 及EDS
的原理,並示範操作,期能對電子顯微鏡相關應用有深刻的認識,日後在職
場工作上,若遇到材料破損問題、產品品質特性評估、與製程可靠度分析的
工作時,能將所學應用在工作上。
課程大綱 第一章:材料分析技術簡介
※材料分析技術原理(依入射粒子束介紹)
※SEM 掃描式電子顯微鏡介紹
※EDS 成分分析儀介紹
※TEM 穿透式電子顯微鏡簡介
第二章:電子顯微鏡在材料科學上的應用
第三章:電子顯微鏡之結構與其成像原理
第四章:掃描穿透式電子顯微鏡原理及實務應用
第五章:掃描式電子顯微鏡及應用實務
※H3000N 電子顯微鏡操作說明
※H3000N 掃描式電子顯微鏡實作示範操作
第六章:電子繞射原理及其應用
第七章:電子顯微鏡在電子材料方面之應用
第八章:影片教學
※電子顯微鏡基本原理
※薄膜技術與實務應用
第九章:專題演講
※掃描式電子顯微鏡原理與應用領域
※無塵室塵埃種類鑑定之實務應用
1
※掃描式電子顯微鏡在IC 封裝業的實務應用
英文大綱 Chapter 1: Introduction to Technology of Materials Analyses
1-1 The Theory of Materials Analyses
1-2 Introduction to Scanning Electron Microscopy (SEM)
1-3 Introduction to Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS)
1-4 Introduction to Transmission Electron Microscopy (TEM)
Chapter 2: The Applications of Electron Microscopy on Materials Science
Engineering
Chapter 3: The Construction and imaging theory of Electron Mi
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