碳纳米管互连串扰特性分析.pdfVIP

目 录 摘 要 i  Abstract iii  目 录 1  第一章 绪 论 3  1.1 研究背景 3  1.2 纳米级芯片互连的挑战 4  1.2.1 纳米级铜互连线的电阻率升高 5  1.2.2 纳米级铜互连线可靠性降低 8  1.2.3 纳米集成电路的热特性挑战 10  1.3 国内外研究现状和动态 12  1.4 本文主要工作 12  第二章 碳纳米管的结构、特性与制备 14  2.1 碳纳米管简介 14  2.2 基本理论 15  2.2.1 平均自由程 15  2.2.2 弹道输运基本理论 16  2.3 碳纳米管的结构 17  2.3.1 单壁碳纳米管 17  2.3.2 多壁碳纳米管 19  2.3.3 双壁碳纳米管 20  2.3.4 石墨层(graphene) 21  2.4 碳纳米管的电、热特性与制备 22  2.4.1 能带结构 22  2.4.2 电、热稳定性 23  2.4.3 碳纳米管的制备工艺与挑战 24  第三章 碳纳米管互连线 29  3.1 单壁碳纳米管 29  3.1.1 电阻模型 29  3.1.2 电容模型 32  第 1 页 3.1.3 电感模型 35  3.2 双壁碳纳米管 39  3.2.1 电阻模型 39  3.2.2 电容模型 39  第四章 碳纳米管束互连线 40  4.1 单壁碳纳米管束 40  4.1.1 电阻模型 40  4.1.2 电容模型 41  4.1.3 电感模型 42  4.1.4 单壁碳纳米管束电路模型 44  4.2 双壁碳纳米管束 45  4.2.1 电阻模型 45  4.2.2 电容模型 46  4.2.3 双壁碳纳米管束电路模型 46  4.3 铜互连模型 47  4.4 碳纳米管束互连线串扰模型 49  4.5 碳纳米管束互连线延时性能比较 53  4.5.1 全局层互连线 54  4.5.2 中间层互连线 58  4.5.3 本地层互连线 61  4.6 碳纳米管束互连线抖动性能比较 65  4.7 碳纳米管束互连线中互电感的影响 66  第五章 研究总结与未来展望 67  参考文献 69  致 谢 78  攻读学位期间发表和撰写的学术论文 79  第 2 页 第一章 绪 论 1.1 研究背景