超高分辨电子显微镜-浙江大学实验室与设备管理处.doc

PAGE 第PAGE 7页 编号： 编号： 浙江大学 购置大型仪器设备可行性论证 与审批报告 仪器设备名称 超高分辨电子显微镜 申 请 单 位 化学系 学院(系) 实验室（所） 申 请 人 彭笑刚 项 目 负 责 人 王彦广 经 费 来 源 985工程三期一流化学学科建设 经费主管部门 发展规划处 申 请 日 期 2011年11月11日 实验室与设备管理处制 仪器设备中文名称 超高分辨电子显微镜 仪器设备外文名称 High-Resolution Transmission Electronic Microscope (HRTEM) 型号规格 申购数量 1 单价估计 人民币(元)：（略） (折合)外币：（略）万美金 主要技术指标 3.1分辨率：点分辨率：≤0.24nm *线分辨率：≤0.102nm信息分辨率：≤0.14nm 3.2加速电压：最高：200kV；最低：80kV；连续可调 ；高压稳定性：≤ 1 ppm/10min或2ppm/1min(峰峰值) 3.3电子枪：电子枪类型：肖特基场发射电子枪 ；束流：1nm束斑电流 ≥0.5nA;最小能量色散：200kV下0.7eV或更低; 束斑漂移：1nm/min 3.4最小束斑尺寸: 透射模式(TEM)：≤ 2 nm; 微区分析模式：最小束斑 ≤ 0.5nm 3.5 会聚束电子衍射（CBED）: 最大会聚角：≥100mrad（2α角）; 最大接受角：≥10° （2α角） 3.6物镜: 球差系数：≤ 1.2 mm ; 色差系数：≤ 1.4 mm ; 最小聚焦步长：≤ 1.7 nm; 最小位移：≤ 4nm(X/Y方向) 3.7 放大系统: 放大倍数：最小 ≤ 50倍；最大 ≥ 1,000,000倍; 放大倍数重复性： 10% 3.8 相机长度：最小 ≤ 80mm；最大 ≥ 4,500mm 3.9 样品台: 标准低背景双倾样品台最大倾斜角度：± 30o; 样品移动范围 ：X,Y ≥ 2 mm；Z : ±0.375mm; 图像漂移速率（使用单倾样品杆）：≤ 1 nm/min 3.10 扫描透射(STEM): 分辨率： ?0.20 nm ; 探头：高角环形暗场探头（HADDF） 3.11 能谱仪(EDS) 技术规格: 探测器：圆型硅漂移SDD电子制冷探头，独立封装FET场效应管， 能谱仪探测器有效面积80mm2, 能量分辨率Mn Ka处127eV元素分析范围: 从Be4-Pu94 探测器自动伸缩，保护能谱不受强杂散信号干扰。谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV， 48小时内峰位漂移小于1.5eV。可以和STEM配合，进行定量面扫描、漂移校正的线扫描和面扫描分析; 3.12记录装置: 数字化CCD照相系统; 数字化CCD相机技术规格; 耦合方式：光纤耦合(1:1);安装位置：底部安装; 像素：感应尺寸4096×4096像素，像素大小：≥15um×15um;动态范围：≥ 16-bit ; 读取速度：≥ 2.8 M pix/sec （4-port同时输出）; 冷却方式：半导体循环冷却; 工作温度 -25oC; 拍摄衍射 可以直接拍摄 3.13真空系统: 真空系统构成：由机械泵、油扩散泵、3个以上离子泵等构成或更高；真空度：电子枪真空度 5 x10-7 Pa；样品区真空度 2.7 x10-5 Pa；更换样品时间小于3min，否则需配置样品台无油真空预抽器，以提高更换样品时间。 3.14 电镜操作: 数字化操作系统，基于Windows XP的计算机控制系统, 在用户图形界面上完成电镜的操作控制。能比较方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。控制软件具有多种探测器（附件）同时采集数据功能和频谱分析功能，可进行在线或后续的离线分析，可在几秒种之内完成所需模式（如常用的透射模式与扫描透射模式）之间的切换，实现在同一点的多种模式或手段的综合分析。 对不耐辐照的样品保护功能，减少样品的辐照损伤，精确定量电子束的计量;可以拍摄系列欠焦像，做波函数重构，做图像处理，可以得到振幅和相位的信息 主要功能、应用范围 与共享学科 透射电镜可以进行样品的形貌分析，结构分析和成分分析。形貌分析:它获得非晶材料的质厚衬度像，多晶材料的衍射衬度像和单晶薄膜的相位衬度像(原子像)。结构分析：电子衍射，原子位错，孪晶类型，晶界结构等研究。成分分析：小到纳米