《J BT2965-1992-溅射离子泵性能测试方法》.pdfVIP

in 中华人 民共和 国机械行业标准 JB/T2965-92 溅射离子泵性能测试方法 1992-12-25发布 1993-07-01实施 中华人民共和国机械电子工业部 发 布 中华 人民共和 国机械 行业 标准 .1B/T 2965一92 溅射离子 泵性能测试 方法 代替JB 2965一81 1 生题内容与适用范围 本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能测试方法。 本标准适用于抽速大于IOLs-的离子泵。 2 术语、符号 2.1 抽气速率(简称抽速，符号:S;单位:Ls-) 本标准定义的离子泵的抽速是把按照标准规定的试验程序，在规定的抽速测试罩上指定位置测得 的压力，代入指定公式的计算结果。 2.2 极限压力(符号:P;单位:Pa) 本标准定义的离子泵的极限压力是按标准规定的试验方法测得的稳定最低压力。 2.3 测试罩 是一个具有指定形状和尺寸的容器，其上的指定位置装有真空计 本标准规定了极限压力测试罩(见3.2.3)和抽速测试罩(见3.2.4)0 3 测试方法 3.1测试气体 本标准规定以干燥空气为测试气体。 3.2 测量装置 3.2.1 压力测量 全压力以等效氮压力表示。使用适当的热阴极电离计，其测量范围为4.0X10-^-1.0X10Pa为 了降低由于电子诱导离子解吸效应引起的剩余电流造成的误差，电离计的发射电流在1X10mA范围 内。电离计要用高纯氮气校准。 3.2.2 热阴极电离计。电离计必须有已知的校准曲线 压力读数误差不得大于110%。离子泵磁钢的 杂散磁通密度应当充分低，以保证其对电离计灵敏度的影响不超过士3X, 3.2.3测量极限全压力的测试罩 测试罩具有圆形断面，其内径为D(见图1)。对于入口直径 100mm及以上的离子泵，D等于离子 泵入口直径。对于入口直径小于100mm的离子泵，D一律为100mm。圆筒形测试罩的总高度为3D/2, 其顶部是平的。测试罩与离子泵之间联接法兰的密封圈由制造厂推荐。测试罩应能承受400℃真空烘 烤 。 测试罩带有两个联管，其中之一经过可烘烤截止阀联接粗抽泵 另一个联管轴线距底部法兰面为 D/2，联管垂直罩壁向外伸出，然后向上弯成直角以便安装电离计。 3.2.4 测量抽速的测试罩 测试罩具有圆形断面，其内径为D(见图2)。对于入口直径为 100mm及以上的离子泵.D等于入 口直径。对于入口直径小于 100mm的离子泵，D一律为 100mmo 机械电子工业部 1992-12-25批准 1993-07-01实施 1 JB/T 2965一92 圆筒形测试罩的高度3D。距罩底部法兰面为3D/2高度处装有一金属薄板，其周边与测试罩壁密 接，其中心有一直径为d的小孔O，小孔边缘要薄，不大于 。.5mm(见图2)。对于入口直径为 100mm 及以上的离子泵d值取0.05D-0.1D。对干入口直径小于 100mm的离子泵，d值要根据离子泵预期 的抽速选取，使得测试罩上下两部分测得的压力比值在5^10。范围内。 测试罩的上室Y具有两个垂直罩壁向外伸出的圆管，其轴线在薄孔板上方D/2处。其中之一向上 弯成直角以便安装电离计P,。另一圆管安装进气管，进气管沿罩轴线向上弯成直角，其端部为出气口， 距罩顶部D/2，进气管的人口端联接一只可烘烤控制阀。 测试罩的下室X具有三个垂直罩壁向外伸出的圆管，其轴线在罩底部法兰面上方D/2处，其中之 一经过可烘烤截止阀联接粗抽泵，其二向上弯成直角以便安