《J BT6922-2004-真空蒸发镀膜设备》.pdfVIP

ICS23.160 J78 .r!ICi 中华 人 民共 和 国机 械 行 业 标 准 JB/T6922-2004 代替JB/I6922-1993 真空蒸发镀膜设备 Vacuumevaporationcoatingplant 2004-10-20发布 2005-04-01实施 中华 人 民共 和 国 国家 发展 和 改革委 员会 发布 JB/T6922-2004 目 次 前言，.-…… ，，……二‘，一…‘ ..‘…，一 1 范围……，-一 ..‘...…… ‘..…，，，.二..‘…… ‘.价二 ‘.价一. 一.一...一… 2 规范性引用文件……，二 ‘，.，.… ，二价二，·······，·······价··一·一··一· ··一···… 3 型式与基本参数.. ……，，… …，.二 ‘..…，，...……，········，.············· ··…… 3.1结构形式...一 .-‘…，-.…，二，二 ， ···‘··············.… 3.2 基本参数.……，……，… …，..二，...··········.·.·······.··.···…·‘… ， 3.3 型号，.-.… ..‘...-一 …‘…，… …‘ ，.. .…，，-… …，.，，..…‘ ，.-...一t.-...价 ...-.… 一 ， 4 技术要求 … …，..-‘-.---..… ，‘-一...…… ﹄ 气 4.1 工作环境条件…… t..…价…，..…… ，，-... …… ，.···········.··············一·‘ 一 ﹃ 4.2 结构要求--…，.-..一 .…‘ ，-… ，..一 t‘一..一 一 你 4.3 制造要求 ----.-..-…… ，，---..-一，... ‘ 气 4.4 安全防护要求一 …‘…，，一，..·······‘二 、 5 试验方法..--… ，.-..二..‘…，.，，-.--一t…… 月 5.1 极限压力测量… … ，..- …… ，……，… 月 5.2 抽气