磁过滤器电流对非晶碳薄膜摩擦学特性影响的研究鄢-物理学报.PDF

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援源 渊圆园员员冤摇 园源远愿园圆 磁过滤器电流对非晶碳薄膜摩擦学 特性影响的研究鄢 员冤圆冤覮 员冤 员冤 员冤 员冤 韩摇 亮 摇 杨摇 立 摇 杨拉毛草 摇 王炎武 摇 赵玉清 员冤渊西安交通大学电子与信息工程学院袁西安摇 苑员园园源怨冤 圆冤渊西安电子科技大学技术物理学院袁西安摇 苑员园园苑员冤 渊圆园园怨年员园月员苑 日收到曰圆园员园年苑月员猿 日收到修改稿冤 摇 摇 研究了过滤阴极真空电弧技术中袁不同的磁过滤器电流下渊缘要员猿粤冤袁制备的四面体非晶碳渊贼葬鄄悦冤薄膜对摩擦 学特性的影响援通过对薄膜厚度袁薄膜结构以及薄膜表面粗糙度随磁过滤电流的变化结果进行了测试袁结果表明袁 随着磁过滤器电流的增大袁薄膜的泽责猿 键含量逐渐减少袁表面粗糙度从园郾员猿增大到园郾猿愿援磁过滤器电流在缘粤 时袁 薄膜的摩擦系数最小约为园郾园愿袁当电流增大到苑粤时袁摩擦系数显著增大袁磁过滤器电流从苑粤增大到员猿粤时袁薄 膜的摩擦系数再次减小约为园郾员援 关键词院四面体非晶碳袁过滤阴极真空电弧袁磁过滤器电流袁摩擦系数 孕粤悦杂院远愿援缘缘援原葬袁远圆援圆园援匝责 系研究很多咱怨要员圆暂 袁但有关磁过滤电流对贼葬鄄悦薄膜结 员郾 引 言 构袁以及摩擦学特性的影响研究还很少援本文采用杂 形弯管磁过滤阴极技术袁制备了四面体非晶碳膜袁 员怨怨员年酝糟运藻灶扎蚤藻等首次应用过滤阴极真空电 并通过改变磁过滤电流袁研究磁过滤电流对贼葬鄄悦 薄 弧沉积技术制备了具有四面体结构的无序非晶碳 膜泽责猿 含量尧以及表面平整度的影响袁从而研究其摩 咱员暂 猿 擦学特性袁有关研究结果目前还未见到相同的报道援 膜 袁并于员怨怨远年提出将泽责 键含量超过苑园豫的无 氢非晶碳膜定义为四面体非晶碳渊贼葬鄄悦冤膜袁以区别 本文研究结果证明袁随着磁过滤电流的改变袁 于类金刚石膜阅蕴悦咱圆暂 袁从而引起各国科学家高度重 会对薄膜中泽责猿 键含量尧表面粗糙度袁以及摩擦学特 视援国内外大量研究表明袁高的泽责猿 键含量使得非晶 性产生较大的影响援 因此袁优化和稳定磁过滤器的 四面体碳膜具有较好的力学特性咱猿袁源暂 袁非常接近于 电流袁将会大大提高 贼葬鄄悦 薄膜的特性袁使薄膜具有 天然金刚石袁具有广泛的应用前景援 稳定的尧良好的摩擦学特性袁从而应用于工业产 四面体非晶碳膜具有超高硬度和良好的摩擦 品中援 学特性咱缘暂援可以用于机械和航天航空等领域中的运 动部件袁解决其减小摩擦尧磨损尧耐腐蚀和延长寿命 圆郾 实摇 验 等问题袁它的推广应用袁将产生巨大的经济效益援 粤灶凿藻则泽泽等咱远暂的研究表明测试环境对四面体非晶碳 圆郾员郾贼葬鄄悦薄膜制备 膜的摩擦学特性有较大影响援再怎等咱苑暂研究了沉积在 不同基底上的四面体非晶碳膜的摩擦学特性也有 摇 摇 利用过滤阴极真空电弧技术制备贼葬鄄悦 薄膜袁阴 较大不同援杂澡藻藻躁葬等咱愿暂研究了不同偏压下四面体非 极采用纯度为怨怨郾怨怨豫的石墨袁磁过滤器采用 杂形 晶碳膜摩擦系数袁结果表明随着基片偏压的增大略 弯管袁基片材料为单晶硅单面抛光片援试验前袁基片 有降低袁但是磨损率会显著增大援 使用无水乙醇和丙