数据资料SP9920-威卡WIKA.PDF

压力测量系统 型号HYDRA-Gauges 超高纯压力表 型号HG 威卡 (WIKA) 数据资料SP 99.20 应用 半导体行业 UHP-液体化学品输配系统 功能特性 获得专利的双膜片设计 接液部件材料为过氟烷氧基 (PFA) 不锈钢压力测量元件 360° 压力表即使在安装后也可以360°旋转 可旋转 可选配电子式电接点 描述 HG型HYDRA-line传感器，63 mm不锈钢压力表带黑色Teflon® HYDRA-line 涂层，带电接点和1/2圆筒形扩口过程连接。 我们的HYDRA-line压力测量产品是和半导体行业的知名客户 共同开发的产品。此款产品的特性适合过程设备和UHP化学 分配系统的特殊要求。 HYDRA-Gauge压力表提供了高精度、可靠性和高纯的接液 表面。另外，所有接液部分的生产、清洁组装、校准和包装 都是在百分百的清洁室中完成的。 双重安全性 威卡 (WIKA) 的专利HYDRA双隔膜系统隔断了变送器和接液， 保证了系统的安全性和可靠性。同时扩散性介质（如HF和 HCL蒸汽）释放到环境中，以避免任何对测量结果的误差或 360° 可旋转 者感压元件的损坏。 对于特定的应用，此款产品的销售不推荐化学材质的兼容 性。此款产品的一些应用可能会导致化学物通过膜片材质 进行扩散。 HG型HYDRA-line传感器，63 mm不锈钢压力表带黑色Teflon® 涂层，带电接点和1/2圆筒形扩口过程连接。 威卡 (WIKA) 数据资料SP 99.20 ∙ 09/2007 第1/6页 HYDRA-Sensor HS型 详情请参见数据资料SP 99.21 HYDRA-Dry HD型 详情请参见数据资料SP 99.22 规格参数 HG型，HYDRA-Gauge压力表 压力表 MPa 0 … 0.25 0 … 0.4 0 … 0.6 psi 0 … 30 0 … 60 0 … 100 kPa 0 … 250 0 … 400 0 … 600 过压安全 MPa 4 1) 过程连接 圆筒形3/8 、½ 、¾ 、1和1 ¼扩口螺纹 死端¼ 、3/8和½扩口螺纹 死端¼ NPT 内螺纹 压力测量设备 设计符合EN 837-1标准