基于声表面波气体检测器件特性的研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 分类号U 分类号 U D c． ． 密级 公 五 舅参庐声乎 硕士研究生学位论文 基于声表面波气体检测器件特性的研究 申请人： 高君华 学 号： 2121305 培养单位： 电子工程学院 学科专业： 微电子学与固体电子学 研究方向： 功能材料与器件 指导教师： 张振辉教授 完成日期： 2015年3月28日 万方数据 I|III I|III I I I II II U II II II IIl 中文摘要 Y2770070 中文摘要 相比于传统的气体检测器件，SAW器件具有精度高、体积小、功耗低、适合 远距离传输等特点。影响声表面波器件检测性能的主要因素有压电材料的种类、 切向及波传播方向的选取，叉指换能器的设计，以及敏感膜材料的确定等，本文 主要从以上三个方面对SAW器件展开研究。 通过对压电材料的SAW波速和机电耦合系数的分析，确定压电材料的种类和 切向。本文利用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics 5．0对该材料中SAW传播 的过程进行了正反模态的研究，给出最后的仿真结果。对叉指换能器的研究中， 给出了影响叉指换能器性能的主要因素，讨论了电极二次效应的影响，设计了一 种性能较好的叉指换能器，并给出相应的有限元仿真模型。 在铌酸锂压电晶体表面设计制作了线宽为5jxrn和10I-tm的SAW器件，给出具 体的工艺过程。并利用磁控溅射技术在SAW器件的敏感区形成氧化锌气体敏感膜， 并用X射线衍射仪和扫描电镜对所制备的敏感膜进行了测试，并建立了两种类型 的SAW气体检测器件的有限元仿真模型，最后成功制备了延迟线型SAW二氧化 氮气体检测器件。 关键词：声表面波；压电材料；叉指换能器；敏感膜；有限元仿真 万方数据 黑龙江大学硕士学位论文Abstract 黑龙江大学硕士学位论文 Abstract Compared with the traditional terms of gas detection devices，SAW devices have high precision，small size，low power consumption，and are suitable for long—distance transmission．Many factors will affect the performance of surface acoustic wave devices such as．piezoelectric materials，selection-cuts and propagation directions，the design of the inter-digital transducers，materials of the sensitive film，this paper will study on the above three aspects． The type and the shear type of the piezoelectric materials were determined by the study of SAW velocity and electromechanical coupling coefficient of the piezoelectric materials．This paper used the finite element method(FEM)simulation software COMSOL Multiphysics 5．0 to study the propagation process of the SAW on the symmetry and the asymmetry mode，then demonstrated the result of the simulation．The main factors that affect the properties of the IDTs and the influence of the secondary effects of electrode have been discussed，and a good design of the SAW device have been came up by FEM． The IDTs were fabricated which size were 5 1am and l OI．tm on the surface of the lithiumniobate piezoelectric crystal．The processes of the fabrication were given．And i