拉晶操作培训..pptVIP

拉晶工序 清炉 拉晶完毕，晶棒取出后，炉体冷却后，对单晶炉进行清扫。 每次小清，4炉次之后大清。 小清只需取出几个石墨部件打扫干净，不过为了防止泄漏，必须清理防爆阀上的密封圈。 大清时将石墨热场全部清理，包括真空管道。 清理完之后，用酒精将炉壁内擦拭干净。 清炉时要确认石墨加热器螺丝是否加紧，防止松动造成打火。 清炉顺序：自上而下，逐一清理 二、热场的安装与煅烧 安装电极→炉底碳毡→反射底板→下保温罩→石墨环、石英环→加热器→中保温罩→石墨托杆→石墨托盘→装三瓣埚→下降主炉室→上保温罩→导气孔→保温盖板→装导流筒→压环 石英坩埚的安装 安装石英坩埚前，请穿好洁净的工作服，工作帽，并戴好未使用的一次性手套； 确认石英坩埚内无脏污、裂口、气泡等； 安装石英坩埚时要轻放，防止损伤石英坩埚； 安装完毕后确认石英坩埚口是否水平。 装料 装料前要穿好结晶的工作服，戴上工作帽，防护眼镜，一层棉手套，一层一次性手套。 在装料时因轻拿轻放，防止碰伤石英坩埚。 液面以下部分尽量加满不要有空隙，液面以上于石英坩埚接触采用点接触并重心往里，防止熔化时产生挂边； 装料完毕之后因用吸尘器将石英坩埚口和石墨件上的硅料粉吸掉； 注意：吸尘器吸粉料时吸尘管不要碰到硅料和石英坩埚，防止被污染。 装料时，先将埚升升到到最高位置，在进行装料。 装料 装料时要轻放、慎重作业、不要使硅料掉在保温材料和加热器之间的缝隙。在埚底平铺一层粉、小型硅料，然后将大型硅料放在上面，大型硅料之间的间隙里填充粉、小型硅料，不要使大料架空。在装料到石英坩埚上层时，硅块靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；最后将硅料堆成金字塔形状，料的重心在石英坩埚中心，上部装料时不要伸出石英坩埚壁,否则易造成漏料，损坏石墨件，甚至使整炉硅料报废；（见下图） 装料完成后埚转为2/rpm左右旋转，查看坩埚旋转情况，然后将埚位下降至最低熔料位置，关闭旋转。 装籽晶 安装前应穿好洁净的专用工作服及工作帽并带好洁净的一次性手套，防止异物进入石英坩埚内。 根据规格要求选择籽晶（一般1-0-0），现在CZ1#厂房所使用籽晶一般是（100）晶向的籽晶。 确认定位开槽是否有损伤 用定位销将籽晶固定于籽晶夹具上并用双手垂直 用力拉一下确认有无问题 装完籽晶后用酒精和无尘纸将其擦拭干净 每次安装前因取下籽晶夹具检查确认籽晶 绳有无折痕，如有因急时更换防止拉晶时造成籽晶晃动 抽真空 目的：将炉内抽至相对要求真空，防止原材料加热溶化过程产生氧化。 关闭炉盖前先用酒精和无尘纸将炉盖和炉筒及“O”型圈擦拭干净； 启动前需要检查泵体内的真空油、皮带的松紧及损坏情况以及冷却水。 采用多次点动启动的方法，等转动灵活后再按下启动按钮； 泵运转约5分钟左右各方面均正常后，再缓慢打开主泵球阀对炉子进行预抽真空，注意主泵球阀必须缓慢打开。 观察炉内压力，直到显示压力低于要求达到的压力或更低。 检漏 目的：确认炉体漏气量 当炉子的真空度达到规定值时，关闭真空管道上的主泵球阀。 观察真空计上的压力数值，测定压力变化。CZ1#厂房设备检漏时，泄漏率小于50mTorr/时为合格 检漏结束后缓慢打开真空管道上的主泵球阀继续抽一段时间真空，直至真空度低于检漏时的真空度。 化料 目的：将固化的硅原料在规定时间内转化为液体。 在规定的功率（在规定的时间内从低到高慢慢提升，直到化料要求功率）和坩埚位置下熔化成液态 化料时，流量控制在40-60L/min.炉内压力维持在10T或1000Pa左右。 将坩埚转速设定在2r/分. 化料 在表面硅料全部熔化后，不可将坩埚的位置升的太高，须保证液面至导流筒的距离有4- 5cm，防止石英坩埚底部硅料翻出时碰到导流筒及导流筒粘硅。 在熔料时，如发现有液硅表面漂浮着杂质，在硅料未完全熔化时下降籽晶，将杂质吊出。 必须时刻注意观察炉内的情况，以防导流筒粘硅、石英坩埚粘硅、漏硅、石英埚变形和塌料时溅硅、跳硅，化完后的液面有杂质漂浮等一些异情况的出现情况，应有效及时的处理并记录。 时刻注意加热电流、电压是否正常。 化料 常见异常处理： 挂边、搭桥 ： 定义：挂边指硅绝大部分熔完后，硅熔体上面坩埚边上粘有硅块的现象。搭桥指硅将熔完时，部分硅块在硅熔体上面形成一座“桥”。 产生原因：一是坩埚内多晶硅装的不合要求，二是熔硅时坩 埚位置太高，过早的提高坩埚位置和过早的降温都容易产生挂边和搭桥。 处理方法：首先降低坩埚位置，快速升高温度，一旦挂边和搭桥消失，快速降温，快速升高坩埚，避免产生硅跳。 硅跳： 定义：所谓“硅跳”，指熔硅在坩埚中沸腾现象。 产生原因：有三种情况可以产生硅跳：多晶硅中有氧化夹层或