铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 !% %%) !% ， ， ， J4 * I * !% K=LM6N %%) （ ） !%%%1#(%@%%)@ !% @’’1!! ?BC? DEFGHB? GHIHB? %%) B:37 * D:OP * G= * 铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战 ））） ））） ） 张文杰! # $ 易万兵! # 吴 瑾# !）（中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 %%%% ） ）（中国科学院研究生院，北京 !%%%’( ）