江南大学电镜精园品课件.pptVIP

1、分辨率 6.0nm(钨丝阴极) 2、放大倍数 15倍～250000倍 3、电子光学系统 电子枪： 发叉式钨丝阴极  加速电压：0～30KV  透镜系统：三级电磁透镜  物镜光阑：三个可在真空外选择调节 KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜 CSPM 3000系列扫描探针显微镜 广泛的应用范围 物理学 化学 生物和生命科学 材料科学 微电子科学和技术 表面科学 纳米科学和技术 CSPM3000系列多模式扫描探针显微镜 性能指标 ■ 分辨率： 扫描探针显微镜(STM)： 横向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定标） 原子力显微镜(AFM)： 横向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定标） ■ 探针激励信号： 振幅为0～2V 频率为 DC～1000kHz （32-bit分辨率） AP-990?原子力显微镜? ?????????????????? Atomic Force Microscopes 观察抛光固本表面、薄膜表面的表面形貌,价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量,掺杂后的电场分布,用于观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等.可用于微电子集成电路器件的失效分析. 扫描探针显微镜 Scanner ???X,Y?scan?size:?200?×?200?micron ???X,Y?resolution:?1?nm ???Z?range:?15?micron ???Z?resolution:??0.5?nm Approach ???Type:?Automatic ???Length:??1.5?mm ?Operation ????Mode:?AC,?DC,?LFM,?MFM. ???Optional?mode:?STM,? Conductive?AFM. ???Imaging:?Topography,?Phase, ????Lateral?Force. Objective ???Type:?Bright?Field. ????Focal?length:?95?mm. Magnification:?15X.  AJ-Ⅰ型扫描隧道显微镜（STM) 1.STM探头 2.悬吊式抗震架 3.AJ-Ⅰ型扫描隧道显 微镜 控制箱 4.控制软件及离线软件 5.测试样品及常用备品备件 主要特点 1.样品尺寸：φ≤10mm 2.扫描范围：ＸＹ方向　3μm×3μm ６μm×６μm 　　　　　　 3.分辨率：XY方向：0.1nm, 　　　　 Z方向：0.01nm　能够常规得到高序石墨（HOPG）表面原子图像 4.针尖逼近行程及精度：行程≥10nm，精度≤0.1μm,纳米级步进马达自动保护 驱近 ; 5.扫描模式：恒流模式、恒高模式,I-V曲线、Ｉ-Z曲线; 6.扫描方式：连续扫描，可任意改变扫描方向;采样数：256点/线 7.悬吊式抗震装置 ; 8.扫描速度：０.1~20Hz ;标准串行接口（可以接手提电脑）; 技术参数 扫描力显微镜 原子力显微镜发明以后，又出现了一些以测量探针与样品之间各种作用力来研究表面性质的仪器，例如：以摩擦力为对象的摩擦力显微镜、研究磁场性质的磁力显微镜、利用静电力的静电力显微镜等。这些不同功能的显微镜在不同的研究领域发挥着重要的作用，它们又统称为扫描力显微镜（Scanning?Force?Microscope,简称SFM）。 电镜应用实例 怎样选择电镜 SEM images of (a) unmodified CLD microspheres and (b) PNIPAAm/dextran hybrid particles. The scale bar is 20 mm. Macromol. Rapid Commun. 2003, 24, 517–521 Topological and three-dimensional AFM images of the PPy microarrays Advanced Materials 2003,13,12,938-942 Transmission electron micrographs of PBA/PMMA core/shell latexes Journal of Polymer Science: Part A Polymer Chemistry, Vol. 34,3183-3190 (1996) Tapping mode AFM height images of pDMS-b-pS-b-pDMSA brushes Macromol. R