平行密封型闸阀.PDF

下载文档

4
0
约2.3万字
约 8页
2019-01-19 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

平行密封型闸阀.PDF

1、本文档共8页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

平行密封型闸阀

對應300mm晶圓平行密封型閘閥 RoHS 長壽命 300萬次（常溫時）發塵量 1/5以下降低（既有品比）維修性安全對策伸縮囊可更換採用機械端點鎖定機構上方更換閘門設計（訂製品）緊急停止時的閘開狀態及閘閉狀態的保持。省空氣訂製品輕量空氣消耗量22%削減 14kg（卡匣式的場合）平常動作（無逆壓）時可低壓作動。使用環境壓力大氣壓〜10−6Pa 開口窗尺寸 50mm×336mm 密封圈材質： ® FKM/Kalrez 4079 嵌入式（無本體）搬送腔體卡匣式（標準本體）製程腔體平行密封型閘閥與舊本體有互換性適用於半導體裝置、負載鎖定室與搬送腔體及搬送腔體與製程腔體間的閘閥。 XGTP Series CAT.TS140-9A 平行密封型閘閥 XGTP Series 採用平行密封構造低發塵長壽命化閘門上昇・下降直線動作與閘門關閉夾緊的平行密封構造。閘門開閘門閉閘門夾緊（密封）閘門夾緊昇上維修性提昇容易做伸縮囊更換上蓋Assy從 1 拆下閘門 2 拆下側板 3 4 更換伸縮囊驅動體Assy處取出閘門小螺絲上蓋Assy 伸縮囊驅動體Assy 側板從上方接觸部可做閘門更換訂製品 1 取下上板 2 拆下固定螺栓 3 閘門從本體處更換上板固定螺栓腔體