光学镜面间隔测量中的色散研究.PDF

激光与光电子学进展 51, 061204(2014) Laser Optoelectronics Progress ©2014《中国激光》杂志社 光学镜面间隔测量中的色散研究 1，2 1 1 郭帮辉 李 明 孙 强 1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033 2 中国科学院大学,北京 100049 摘要 材料的色散会影响镜面间隔的测量精度，为了提高光学干涉法测量镜面间隔的精度，对材料色散效应进行理 论分析和数值仿真，分别对LAK9、ZF6、H-ZF2、BAK7、K9光学玻璃进行仿真测试，得到了干涉信号峰值偏移量关系 式，信号峰值偏移量与材料的一阶色散系数成正比。为了验证该关系式的正确性，搭建了一个镜面间隔测量实验平 台，实验测量得到的干涉信号最大值偏移量与仿真测试结果的相对误差小于2%，考虑到实验过程中的误差因素，证 明仿真测试得到的结果是正确的。 关键词 光学系统;光学干涉;色散;镜面间隔;光学装调;镜面间隔测量;短相干 中图分类号 TN23;O439 文献标识码 A doi: 10.3788/LOP51.061204 ResearchofDispersioninMeasurementofOpticalLensGap 1，2 1 1 GuoBanghui LiMing SunQiang 1ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences, Changchun 130033,China 2UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing 100049,China Abstract The dispersion of optical material influences the accuracy of lens gap measurement. In order to improvetheaccuracyoflensgapmeasurement,theeffectofopticalmaterialdispersionisinvestigatedbythe theoretical analysis and numerical simulations. An expression of interference signal offset is obtained by numericalsimulationformaterialsofLAK,ZF6,H-ZF2,BAK7 andK9，withtheoffsetproportionaltothefirst order dispersion coefficient of optical material. An experimental platform is set up to verify the simulation result, and it is shown that the relative error of interference signal offset between the experimental and simulationresultsisbelow 2%.Consideringvariouserrorfactorsintheexperiment,therelativeerrorof 2%is reasonablean