微奈米制程与材料分析.DOC

PAGE PAGE 1 南台科技大學100學年度第2學期課程資訊 課程名稱 微奈米製程與材料分析 課程編碼 10D31001 系所代碼 01 開課班級 四技自控四甲 四技自控四乙 四技奈米四甲 四技奈米四乙 四技車輛四甲 四技車輛四乙 開課教師 吳忠春 學分 3.0 時數 3 上課節次地點 四1 2 3 教室K302 必選修 選修 課程概述 介紹各種微奈米製程技術以及產業上的應用，並介紹微奈米材料特性的分析工具，包含粒徑分析、微結構分析、相分析、與光譜分析等分析技術與其應用，並邀請四位產業界的專家蒞臨本校做專題演講與產業趨勢剖析，讓選修本課程同學了解微奈米製程技術在產業上的應用，並了解微奈米材料的材料特性與相關分析工具的原理與應用。 課程目標 (1)瞭解微奈米製程技術的種類與原理，讓學生對於微奈米工程技術與微機電系統有總體的概念，其市場應用與理論基礎的範圍，之後再細部解說微奈米加工製程的介紹，包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、封裝測試等、奈米加工與量測。 (2)了解微奈米材料的材料特性與相關分析工具的原理與應用，包括在奈米尺度上分析具奈米結構與材料的組成、相、微結構，磁與光譜等分析，更進一步探討其新現象與特性，作為新的應用性質的參考。 課程大綱 1.微奈米製程技術的介紹 2.微奈米製程技術之應用與市場 3.半導體之微奈米製造技術 4.微影技術與薄膜沉積技術 5.特殊加工製程技術 6.微奈米材料簡介與產業上的實務應用 7.粒徑分析與成分分析技術 8.電子顯微鏡分析技術 9.繞射XRD分析技術簡介 10.掃描探針顯微技術的原理與應用 11.專題演講 英文大綱 1. Introduction of Micro/Nano 2. Introduction to Micro/Nano Applications and Marketing 3. Micro/Nano-Fabrication for Semiconductor 4. Lithography Technology and Thin Film Deposition 5. Other Micro/Nano Fabrication Technology 6. Introduction to Micro/Nano Materials and their Industrial Applications 7. Particle Size Analysis and Composition Analysis 8. Electron Microscopy Characterization 9. Introduction to XRD Characterization 10. Theory of Scanning Probe Microscopy and Industrial Applications 11. Special Lectures in Micro/Nano Manufacturing Fabrication and Material Analyses 教學方式 課堂教授,分組討論,口頭報告,專題演講,實地參訪, 評量方法 自行設計測驗,作業／習題練習,口頭報告,課堂討論,課程參與度(出席率), 指定用書 奈米材料科技原理與應用 參考書籍 [1] 「奈米材料分析」，黃惠忠等編著，洪敏雄校閱，滄海書局，2004年。 [2] 「奈米技術與應用」，顧寧、付德剛及張海黔等編著，江禎立與許孟博等校閱，滄海書局，2003年。 [3] 「圖解奈米科技」，日文原著 川合知二監修，工業技術研究院發行。 [4] 「奈米材料與奈米結構」，張立德、牟季美等著，葉瑞銘修校，滄海書局，2002年。 先修科目 無 教學資源 [1] 南台科技大學my數位學習網站 .tw/ [2] 教育部教學影片『電子顯微鏡原理與應用』 [3] Discovery教學影片『奈米科技2002年版』 [4] 教育部教學影片『聚合物微結構之X光分析』 [5] 教育部教學影片『半導體材料微量分析技術』 [6] 教育部教學影片『半導體製程』 注意事項 【1】使用電腦與單槍投影機教學之外，亦使用本校教學網站(my數位學習)系統及E-mail與同學進行問題溝通解答服務，同時利用本校教學網站(my數位學習)系統將上課大綱及習題解答上傳給同學下載參考，增加師生互動，並期望提昇同學學習興緻與成效。 [2] 本課程會包含相當比率的專家專題演講或教學影片欣賞，撰寫心得報告為本課程平時分數的來源之一，請選修本課程的同學好好撰寫心得報告。 [3] 請準時出席，出席紀錄列為平時成績的一部分，常常缺課未到會影響平時成績。 全程外語授課 0 授課語言1 華語 授課語言2 輔導考照1 無 輔導考照2 無