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四、X射线光电子能谱的应用 1.元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。 2.元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度(光电子峰的面积)反应原子的含量或相对浓度。 XPS的特点:在实验时样品表面受辐照损伤小,能检测周期表中除 H 和 He 以外所有的元素,并具有很高的绝对灵敏度。 3.固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成,原子价态,表面能态分布,测定表面电子的电子云分布和能级结构等。 4.化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量,提供化学键和电荷分布方面的信息。 5.分子生物学中的应用。例:利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co。 * 在空间传播的光(的能量)不是连续的,而是一份一份的,每一份叫做一个光量子,简称光子,一份光子的能量E=hv。 用光子说对光电效应规律作解释 用如图7所示动画辅助描述光子说下的光电效应:光子像下雨一样落在金属表面上,打出电子,就像机枪子弹从混凝土墙上打下混凝土块一样。 * * 一个处于基态的闭壳层(闭壳层指不存在未成对电子的电子壳层)原子光电离后,生成的离子中必有一个未成对电子。若此未成对电子角量子数l>0,则必然会产生自旋-轨道偶合(相互作用),使未考虑此作用时的能级发生能级分裂(对应于内量子数j的取值j=l+1/2和j=l-1/2形成双层能级),从而导致光电子谱峰分裂;此称为自旋-轨道分裂。 * 波长小于0.1埃的称超硬X射线,在0.1~1埃范围内的称硬X射线,1~10埃范围内的称软X射线。 * 通道电子倍增器是一种采用连续倍增电极表面(管状通道内壁涂一层高阻抗材料的薄膜)静电器件。内壁具有二次发射性能。电子进入器件后在通道内连续倍增,增益可达 109 。 多通道检测器是由多个微型单通道电子倍增器组合在一起而制成的一种大面积检测器,也称位敏检测器(PSD)或多阵列检测器。 * 电子能谱仪的真空系统有两个基本功能。 * X射线光电子能谱分析(XPS)X-ray Photoelectron Spectroscopy 汇报人:张亚娜 组员:高悦 青格乐 曲慧慧 主 要 内 容 一、XPS的发展 二、XPS的基本原理 三、光电子能谱仪实验技术 四、X射线光电子能谱的应用 X射线是由德国物理学家伦琴(Wilhelm Conrad R?ntgen,l845-1923)于1895年发现的,他由此获得了1901年首届诺贝尔物理学奖。 XPS现象基于爱因斯坦于1905年揭示的光电效应,爱因斯坦由于这方面的工作被授予1921年诺贝尔物理学奖; XPS是由瑞典Uppsala大学的K.Siegbahn及其同事历经近20年的潜心研究于60年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方法。鉴于K.Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献,他被授予1981年诺贝尔物理学奖。 一、XPS的发展 X射线光电子能谱( XPS ,全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy)是一种基于光电效应的电子能谱,它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子,通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析,因此它还有一个名称,即化学分析电子能谱( ESCA,全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) 光电效应 具有足够能量的入射光子(hν) 同样品相互作用时,光子把它的全部能量转移给原子、分子或固体的某一束缚电子,使之电离 。 X射线起源于轫致辐射,可被认为是光电效应的逆过程,即: 电子损失动能 ? 产生光子(X射线) 快电子 原子核 慢电子 EK1 EK2 h? 光子 二、XPS的基本原理 电子能谱法:光致电离 A + h?? A+* + e h? X射线光电子能谱 单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子,产生由一系列峰组成的电子能谱图,每个峰对应于一个原子能级(s、p、d、f) 光子的一部分能量用来克服轨道电子结合能( EB),余下的能量便成为发射光电子(e - ) 所具有的动能 ( EK),这就是光电效应。用公式表示为: Ek = hν- EB –Ws 结合能( EB):电子克服原子核束缚和周围电子的作 用,到达费米能级所需要的能量。 因为原子的质量至少是电子质量的 2000 倍,我们可以把反冲原子的能量忽略不计。 1、XPS谱图分析中原子能级的表示方法 XPS谱图分析中原子能级的表示用两个数字和一个小字母表示。例如:3d5/2 第一个数字3代表主量子数(n) , 小写字
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