基于压电陶瓷迟滞特性模型的原子力显微镜仿真平台研究fP-大学物理.PDF

第31卷第1期 大 学 物 理 V0l_3l NO．1 2012年1月 C0LLEGE PHYSICS Jan．2012 基于压电陶瓷迟滞特性模型的原子力显微镜仿真平台研究 蒋沙汝 ，李小凤 ，李英姿 ，钱建强 ，李 渊 (1．北京航空航天大学数学与系统科学学院，北京 100191；2．北京航空航天大学 物理科学与核能工程学院，北京 100191) 摘要：将基于双二次拉格朗日插值方法的压电陶瓷迟滞非线性Preisach模型，加到原子力显微镜(AFM)仿真平台中，实现 在任意加压情况下由于迟滞效应所产生的图像畸变的仿真，更准确地反映原子力显微镜的扫描结果，使得学生在仿真实验中 能更好地掌握AFM实验的真实情况．为了校正样品图像的畸变，提出搜索求逆算法，并利用此算法对Preisach模型进行精确 求逆，通过改变输入电压抵消了压电陶瓷迟滞效应带来的非线性特性，仿真结果表明，该方法有效地校正了样品图像的畸变． 关键词：迟滞特性；Preisach模型；双二次拉格朗日插值；原子力显微镜；搜索求逆法 中图分类号：TP 391．9 文献标识码：A 文章编号：1000—0712(2012)O1—0058—04 压电陶瓷执行器具有定位精度高、驱动力大、响应 方法．根据I．D．Mayergoyz提出的Preisach数学实 快、承载大、结构简单等优点，被广泛应用于原子力显 现方法 ，可以推导出逆模型的实现方法．本文将 微镜(Atomic Force Microscope，以下简称AFM)微定位 针对基于双二次拉格朗Et插值的Preisach模型，提 系统中”。 ．然而，压电陶瓷具有迟滞特性、蠕变和高频 出搜索求逆法进行精确求逆，通过改变输入电压来 振动非线性特性，其中迟滞为最主要的非线性特性，会 抵消压电陶瓷迟滞效应带来的非线性特性，从而实 降低系统的定位精度，造成扫描图像的畸变失真，也成 现对压电陶瓷驱动器的精确控制． 为扫描过程中的高精度控制的一个难点 ． 1 改进的仿真平台结构 针对我校开设AFM的物理实验课，文献[6]建 立了一套幅度调制原子力显微镜(Amplitude Modu- 为了建立更为完整的AM-AFM仿真平台，在文 lation Atomic Force Microscope，以下简称AM—AFM) 献[6]的仿真平台的 —y方向上的扫描过程中，加 仿真平台，帮助学生在通过模型理解AM—AFM工作 入Preisach模型及其逆模型， 方向结构如图1所示 特性的基础上，有目的地尝试AM—AFM参数的调 (Y方向与 方向结构图相同)． 节，初步体验和理解改变参数给扫描图像带来的影 fP(t)— 口 [ 力 响．然而，该仿真平台把压电陶瓷执行器模型理想 图l 改进的AM—AFM仿真平台压电执行器 方向结构图 化，假设成比例系数为1的线性环节，无法反映由压 电陶瓷执行器的迟滞特性所带来的图像畸变，因而 其中，P为压电陶瓷迟滞特性模型，P 为P的逆模 在该平台中加入压电陶瓷迟滞特性模型，并基于其 型，-厂 ( )为 方向上压电陶瓷执行器的期望输出， 逆模型进行控制，能向学生更真实表现出AM—AFM (t)，为实际的电压输入，-厂(t)为实际输出． 扫描过程中影响图像品质的各种因素，使学生对迟 滞特性的建模及其求逆有初步理解，丰富了仿真平 2 Preisach模型 台的功能． 目前，对压电陶瓷迟滞特性有多种建模方法，其