《JJG77-1983-干涉显微镜检定规程》.pdfVIP

中华人民共和国国家计量检定规程 JJG77- 1983 干 涉 显 微 镜 InterferenceMicroscope 1983一09一30发布 1984一10一01实施 国 家 计 量 局 发布 JJG77- 1983 干涉显微镜检定规程 产~口.~。.~一小0.0.小0.0.0.、 VerificationRegulationof JJG77-1983 代替JJG77-1976 Interference 、~ .0~ .0~ .口~ .口~ .口.口.口~ .口 本检定规程经国家计量局于1983年09月30日批准，并自1984年10 月01日起施行。 归口单位:中国计量科学研究院 起草单位:中国计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负责解释 JJG77-1983 本规程主要起草人: 金良元 (中国计量科学研究院) 参加起草人: 毛起广 (中国计量科学研究院) .i.1G77- 1983 目 录 一 概述 ······················································。·····……，，(1) 一 一 检定项目和检定条件 ········…… (3) 三 检定要求和检定方法 ························································。······…… (4) 四 检定结果的处理 ····……··················，········································。··…… (9) JJG77- 1953 干涉显微镜检定规程 本规程适用于新制的、修理后和使用中的双光束干涉显微镜的检定。 一 概 述 双光束干涉显微镜由干涉和显微系统组成，主要用于v10-v14表面光洁度的测 量。目前，常用的型式如图1和图2，它们的光路系统简图分别如图3和图40 图 1 1-调焦鼓轮;2-遮光屏;3一干涉带宽度、方向调节螺钉; 4,5一工作台纵横向移动千分尺;6一工作台;7一光阂; 8一光源;9-一可换滤光片;10-测微目镜;11一照相机 JJG77- 1983 1-测微目镜;2一目视、照相转换钮;3一照相机;4一光源;5一干涉带宽度调整钮; 6-干涉带方向调整钮;7一参考镜微调螺丝;8一工作台高低移动 (调焦)盘; 9一工作台转动盘;10-工作台平移盘;11一工作台