重编试验教学大纲的目的-东南大学分析测试中心.DOCVIP

PAGE PAGE 1 电子信息材料专业方向大型实验教学大纲（综合实践类） 综合实践名称：电子信息材料专业方向大型实验 英文名称：Electronic Information Material Open Experiments 课程编号：1200405 面向专业：材料科学与工程 电子信息材料方向 课程总学时 3周 课程学分： 3 本大纲主撰人：董岩，邵起越 （TelEmail：dongyan@seu.edu.cn） 一、综合实践作用和具体目标 本综合实践环节是电子信息材料专业方向的必修环节，旨在训练学生的实验技能和实验思路。通过专业实验，使学生逐步掌握电子信息材料制备、性能测试的基本原理，了解制备与测试相关设备或仪器的工作原理和使用方法，同时对电子信息材料专业方向所学相关课程的知识进行巩固，提高学生的专业综合素质。 二、实践内容，学时分配与组织 1、实验名称及实验时间(共三周) 序号 实践项目 实验内容 实验类型 实验时间 每组人数 备注 1 粉体材料制备及性能测试 高温固相反应法制备荧光粉材料 基本型 1.5天 1 必做 激光粒度仪法检测粉体材料粒度性能 基本型 0.5天 3 必做 电阻法检测粉体材料粒度性能 提高型 0.5天 3 必做 粉体材料比表面积测试 提高型 1天 3 必做 粉体材料综合性能测试（松装密度，振实密度，安息角等） 提高型 0.5天 1 必做 粉体材料电泳性能测试 提高型 0.5天 3 必做 长余辉荧光粉发光性能测试 基本型 1天 1 必做 荧光粉温度猝灭性能测试 研究创新型 1天 1 选做 发光材料激发光谱和发射光谱测试 研究创新型 1天 1 选做 2 薄膜材料制及性能测试 直流磁控溅射法制备薄膜材料 基本型 1天 ≤10 必做 射频磁控溅射法制备薄膜材料 基本型 1天 ≤10 必做 薄膜结合力性能测试 提高型 0.5天 3 必做 薄膜摩擦性能测试 提高型 0.5天 3 必做 原子力显微镜观察薄膜表面形貌 研究创新型 0.5天 3 必做 溶胶凝胶法制备薄膜材料 提高型 1天 3 必做 3 半导体工艺实验 半导体衬底清洗工艺 基本型 0.5天 1 必做 四探针法测量电阻率 基本型 0.5天 1 必做 半导体霍尔效应实验 基本型 1天 3 必做 热氧化法制备SiO2薄膜 提高型 1天 3 必做 椭偏法测量SiO2薄膜折射率与厚度 研究创新型 0.5天 3 必做 光刻技术与工艺 基本型 1.5天 3 必做 半导体变温霍尔效应 研究创新型 1天 1 选做 4 总结 完成实验报告，PPT答辩 1天 2、综合实践项目一 “粉体材料制备及性能检测”的安排 ① 选用材料 高纯碳酸锶、高纯氧化铝、高纯氧化铕等 ② 工艺路线 备料→配料(0.5天)→高温灼烧及还原(2天)→后处理(0.5天)→各种性能测试(4天)→讨论(1天) 3、综合实践项目二 “薄膜材料制备及性能检测”的安排 ① 选用材料 单晶硅片，高纯Ti、Al靶，高纯氮气，高纯氩气等 ② 工艺路线 备料→直流磁控溅射法(1天)→射频磁控溅射法(1天)→薄膜性能测试(1～2天)→溶胶凝胶法制备薄膜材料(1天) →讨论(1天) 4、综合实践项目三 “半导体工艺实验”的安排 ① 选用材料 单晶硅片（锗片），高纯氮气，氧气等 ② 工艺路线 备料→半导体衬底清洗工艺 (0.5天)→半导体性能测试(1～2天)→SiO2薄膜制备及性能测试 (1～2天)→光刻技术与工艺（1～2天）→讨论(1天) 三、教学管理模式与注意事项 1、电子信息材料专业方向学生需完成全部“必做实验”。根据综合实践项目的内容和难易程度，学生自由组合分组，每组人数1－3人，并由指导教师认可。根据自己能力强弱和兴趣爱好，自主选择完成“选做实验”，选做实验在课余时间或双休日进行，需事先与指导教师预约。 2、学生在实验前必须认真预习，明确实验原理和目的，熟悉实验步骤及工艺参数。 3、实验室在三周中对实验学生重点支持，实行开放的管理模式，双休日也可安排进行试验。高温炉、大型设备、高精设备由专人负责操作，并填写使用记录。 4、学生须严格遵守实验室管理条例和安全规范，开始实验前进行一次集中安全教育。 四、设备与器材配置 1、可供选择的仪器设备 　　① 各类小型制样设备，各类化学药品等耗材（高纯原料，单晶硅片，光刻胶等） 　　② 大型制样设备（磁控溅射仪，高温烧结炉，光刻机等） 　　③ 各类检测分析仪器（粒度仪，比表面仪，电泳仪，亮度仪，原子力显微镜，微磨损仪，薄膜结合力分析仪，椭偏仪，四探针仪，霍尔效应仪，体视显微镜等） 2、实验耗材 　①常规化学药品（酒精，硝酸，盐酸，氨水等） ②高纯或昂贵原料（荧光级高纯粉体原料，单晶硅片及锗片