第6节 湿度传器.ppt

5.感湿温度系数 （％RH/ ℃ ） 四、陶瓷湿度传感器 4.稳定性 五、电容式高分子薄膜湿度传感器 2.响应特性 小于5S 六、电阻式高分子膜湿度传感器 七、湿度传感器的测量电路 3.线性化 （2）典型电路 1.电桥电路 2.欧姆定律电路 3.带温度补偿的湿度测量电路 要求 掌握：湿度表示法 电解质湿度传感器 陶瓷湿度传感器 高分子湿度传感器 了解：湿度传感器的主要参数 湿度传感器的测量电路 * * §6 湿度传感器 测湿度的主要场合和测量范围 湿 度 传 感 器 电解质型 陶瓷型 高分子型 单晶半导体型 一、湿度表示法 质量百分比： 体积百分比： 相对湿度： 绝对湿度： (g/m3) 又： 露点： 温度降低，空气中水蒸气分压与同温度下水的饱和蒸气压相等，RH=100％，这特定的温度叫露点（高于0℃）。 霜点： 温度降低，空气中水蒸气分压与同温度下水的饱和蒸气压相等，RH=100％，这特定的温度叫霜点（低于0℃）。 二、湿度传感器的主要参数 1.湿度量程 RH （0~100）% 全量程－－贵、低湿和高湿－－灵敏度高 2. 感湿特征量——相对湿度特性 3.感湿灵敏度（湿度变化引起的电量变化） 在某一湿度范围内，RH变化1％，电量变化的％ 电阻、电容 正特性——Fe2O3湿敏电阻器 负特性——TiO2-SnO2陶瓷湿敏电阻 4.特征量温度系数 电阻温度系数（％/℃） 电容温度系数（％/℃） 温度25 ℃时湿度传感器的电阻值（或电容值） （ ） （ ） 另一规定环境温度时湿度传感器的电阻值（或电容值） 温度25℃与另一规定环境温度之差 △T 6.响应时间 温度25 ℃时湿度传感器某一电阻（或电容值）对应的 相对湿度值 温度25 ℃与另一规定环境温度之差 另一规定环境温度下湿度传感器另一电阻值（或电容值） 对应的相对湿度 在一定温度下，当相对湿度发生跃迁时，湿度传感器的 电参量达到稳态变化量的规定比例63%所需要的时间 吸湿响应时间 脱湿响应时间 7.电压特性 交流电压——防止水电离 5V以下：没有影响 15V以上：产生焦耳热 故，选用10V以下 8.频率特性 高湿：f对R无影响 低湿：f增加，R降低 一般规定， 湿度传感器频率不超过103Hz 三、电解质湿度传感器 （1）LiCl湿度传感器的结构 1.缠上钯丝、电极 2.涂胶 3.老化 A B （2） LiCl湿度传感器的阻－湿特性 （3）组合式LiCl的阻－湿特性 （1）材料： MgCr2O4-TiO2 系、TiO2-V2O5 系 ZnO-Li2O-V2O5 系、ZnCr2O4 系 ZrO2-MgO系、 Fe3O4 系、Ta2O5 系 （2)结构： （ 以MgCr2O4-TiO2 系为例） (3)主要特性和性能 103 104 105 106 107 108 电阻R( ) 20 40 60 80 100 相对湿度（％） 1.电阻－湿度特性 103 104 105 106 107 108 电阻R( ) 20 40 60 80 100 相对湿度（％） 2.电阻－温度特性 3.响应时间 小于10S MgCr2O4-TiO2 系的 湿度传感器的时间响应特性 高温负荷 高温、高湿 常温、常湿 油气循环 稳定性的检测实验 高分子薄膜 上部电极 下部电极 （1）结构与制法 工艺流程： 合成 配料 浸渍 腐蚀 光刻 蒸金 清洗 磨片 蒸金 切割 焊线 熟化 测试 （2）感湿机理与特性 1.电容－湿度特性 f =1.5MHz 3.电容－温度特性 5℃～25 ℃，电容温度系数约为0.06％RH/ ℃ (1)结构与制法 制法：8％二乙烯苯 92％苯乙烯 共聚成塑料 聚苯乙烯基片 浓度98％硫酸 LiCl饱和溶液 塑料板变为聚苯乙烯磺酸锂感 湿膜 梳状电极 （2）主要特性 1.电阻—湿度特性 2.温度特性 3.其他特性 响应时间：吸湿快、脱湿慢、不能用于80 ℃上高温， 不能用于有机溶剂测湿度 （1）检测电路的选择 1.电源选择 交流10V以下、频率不能太高 2.温度补偿 半导体陶瓷传感器的电阻、温度关系：