Marc60立式干涉仪主机说明书.doc

Marc-60-Ⅱ激光干涉仪 使 用 说 明 书 南京英特飞光电技术有限公司 2008年8月 Marc-60-Ⅱ激光干涉仪 使用说明书 PAGE 9 / SECTIONPAGES \* MERGEFORMAT 12 1 仪器简介 Marc-60-Ⅱ是由南京英特飞光电技术有限公司开发的菲索型立式激光干涉仪主机，外接图像显示器形成目视观察、判读条纹的光机型干涉仪（Marc-60），也可加装移相器、计算机等构成数字波面干涉仪（Hi-Marc-60）。 由于干涉仪对抗震要求较高，本仪器的光学系统应放置在有震动细微的硬质地面之上。 本仪器采用菲索干涉原理（图1），主机为立式，在图像接收光路中设置了空间滤波器来改善干涉图的质量；一个变倍系统可以放大干涉图以便观察小口径的被测件；电控的对点、测试切换使系统更稳定、调整更方便。高精度的标准参考反射镜保证了相对测量的准确度。 本仪器是本系列干涉仪在线批量检测性能最好的。测量光程为0-500mm，可配各种光学调整架和辅助光学部件形成各种光路进行平面、球面等的测试。可以配置光栅测长系统进行球面曲率半径测量；配置绝对检验软件，进行平面、球面、非球面的绝对检验，极大地提高测量准确度。 本仪器主要用途为： 平面面形测量（非镀膜表面、高反射率镀膜表面*） 小角度平行平晶的楔角测量 角反射器（锥体棱镜）角度误差/综合波差测量* 激光棒测量* 球面曲率半径测量* *注：部分测量需要另配特殊夹具和软件。 图1 菲索型激光干涉仪主机光学原理图 2 仪器主要技术指标 电源： 220V / 50Hz 光源： He-Ne激光器，λ=632.8nm 口径： Φ6 光学质量： λ/20（平面系统，95%口径，P-V） 干涉图放大： 1～6×，无级变倍 输出： 标准视频信号，可为图像采集卡直接接收 光路切换： 调整（十字叉丝）与测试（干涉图）之间为电控切换 CCD摄像机： 高分辨力、高灵敏度、低噪声CCD 标准接口尺寸：螺纹接口，M76×2 。 3 仪器操作使用方法 开机 一般需要在开机后20分钟后再开始测试，因为He-Ne激光器的模式稳定需要一定的时间。刚开机时我们会发现干涉条纹在不停的漂移，有时激光器出现双模时还会使干涉图对比度下降。 如果选用的是稳频激光器，还可以通过调整电流设置点，来增加干涉条纹的对比度。 光路切换 光路切换是使仪器在调整（对点）状态和测试（干涉图）状态之间切换，有三个办法可以进行切换： 在干涉仪控制电源面板上，有切换开关； 干涉仪遥控盒的面板上，有切换开关； 图2干涉仪遥控器 处于调整状态时，在监视器上可看到十字叉丝、参考反射镜和测试反射镜等的反射光点。当光路中放置被测件时，也可以看到它的各个表面的反射光点。 处于测试状态时，可以看到参考反射镜的整个光斑，如果测试反射镜或被测样品调整正确，则可以看到干涉条纹，并可通过条纹获得所需要的测试结果。 基本光路初调 通过切换开关，进入调整（对点）光路，在监视器上可看到十字叉丝和多个反射光点。调整标准参考反射镜使其基本平行于平台，可以在屏幕上看到标准参考反射镜的反射光点。将调整到屏幕中央，与十字叉丝中心重合，则调整完成。 基本光路精调 通过切换开关，回到测试（干涉图）光路，微调调整标准参考反射镜，使光斑无切割、变形，此时要注意不要出现杂光。 被测件调整 将被测件放置到两维调整平台上，然后对其进行初调，对准光点达到重合。通过切换开关，回到测试（干涉图）光路，监视器上可见到密集的干涉条纹。观察干涉条纹是否充满全口径，如有切割，则移动被测件，然后重新进行初调，使被测件全孔径出现在监视器上。最后微调左右与俯仰二个调整螺杆，使得视场中看到的干涉条纹少于六条。 干涉条纹按判读方式不同而不同，如果是目视观察，则3～4条最好，并且至少要在条纹的两个方向进行观察；如果是进行移相采样，则条纹越少越好，条纹越少则波面复原的理论精度越高。 测试孔径调整 如果需要测试小于Φ60mm的样品，可以进行干涉图放大。控制面板上有控制倍率开关，可使被测件在监视器上的图像无级放大缩小，放大倍率为1×～6× 干涉图清晰度调节 在控制面板上，有干涉图调焦+-按钮，可以调节干涉图的清晰。 干涉图光程调节 在控制面板上，有干涉图光程+-按钮，当被测检件离开较远时，可以调节光程来保证干涉图地清晰。 干涉图光强调节 使用控制面板上的光强+-按钮，是对光路中的光阑进行硬件调节，一般情况下，对于放大测试小口径的样品，必须调大光圈，当进行1×全孔径测试时，将光阑调小，可以避免CCD出现饱和现象。 在与移相干涉软件联用时，光阑硬件调节应优先于软件的图像采集光强调节。 干涉图的判读 在目视情况下，可以通过干涉图可以进行光圈、局部光圈的判读。作为一种等厚干涉仪，其干涉条纹判读方法根据JJG28