zno纳米结构的制备及其光学性能的研究材料加工工程专业论文.docxVIP

摘要摘要 摘要 摘要 纳米科学与技术是一个前沿的、交叉性的热门科研方向。目前，纳米科技的 理论内容与实验内容不仅涵盖了化学、物理等基础学科，同时也关乎与人类生活 息息相关的工程学科以及医药学科。在室温条件下，ZnO禁带宽度和激子结合能 分别是3．37eV和60meV，是一种集压电、热电和光电特性于一身的直接带隙半 导体材料。研究证实，在光学器件、电学器件、传感器件等方面纳米ZnO有着 广阔的发展空间。 ZnO纳米材料的合成手段被广泛报道，我们所主要采用的两种方法为热蒸发 化学气相沉积法和MBE法。其中，热蒸发化学气相沉积法是一种被广泛用于制 备纳米结构的气相沉积法；MBE法是一种具有高清洁度、可精确控制的气相沉 积法。本论文主要介绍了利用以上两种方法制备ZnO纳米结构的实验方法，以 及制备出的ZnO纳米结构的光学性能与生长机理。主要的研究成果总结如下： 1．在近大气环境下，利用热蒸发锌粉的方法制备出球棒状氧化锌纳米结构。 SEM结果表明纳米棒由六边棒头、均匀变化的瓶颈和细把手构成，球棒棒头的 直径约为1．2微米，球棒把手的直径约为100．300纳米，纳米球棒的总长约为几 个微米。SAED和HRTEM结果表明，氧化锌球棒沿c轴，即[0001]方向生长。 室温条件下在383nm近紫外光波段有很强的光致发光峰，该峰是伴随激子复合 过程而发生的宽带隙带边发射，属于本征发射峰，说明制备的ZnO纳米球棒缺 陷很少，具有较好的结晶质量和光学性能。根据对HRTEM结果的讨论，我们提 出纳米球棒的生长分为动力学控制部分、亚稳态部分和热力学平衡部分，这三个 部分能够合理的解释纳米球棒的形成过程。关于枝状聚集体纳米结构，我们认为 是由多晶晶核成核和纳米棒辐射状生长两个过程形成的。 2．基于气一液一固(VLS)生长机理，在氧等离子体辅助的分子束外延系统 中，在分别覆盖有lnm厚的Zn和Au催化剂的Si(111)基片上沉积生长了ZnO 纳米薄膜和纳米线。FE—SEM结果表明， ZnO纳米薄膜的致密程度和颗粒尺寸 与基片温度和生长时间密切相关；ZnO纳米线有序、规整、稠密的分布在基片上， 其直径约为30nm，长度约为140nm。X射线衍射结果表明，ZnO纳米薄膜和纳 米线结晶性较好，沿着[0001]C轴方向择优取向生长。ZnO纳米薄膜和纳米线的 生长依照VLS生长机理，本文合理的解释了纳米线的生长过程。 关键词：氧化锌纳米结构 热蒸发化学气相沉积 分子束外延光学性能生 长机理 万方数据 AbstractABSTRACT Abstract ABSTRACT Nanoscale scientific technology is an emerging research area with interdisciplinary and cutting—edge characteristic，at present，the contents of its theory and experiment cover not only many basic subjects，such as chemistry and physics， but also about engineering subjects and medical subjects which are relating to human life closely．At room temperature，the band gap and exciton binding energy of zinc oxide(ZnO)are 3．37eV and 60meV respectively，ZnO is a kind of direct band—gap semiconductor material with piezoelectric，thermoelectric and optoelectronic properties．Study confirmed that ZnO nano—materials have a broad space for development in optical devices，electrical devices，sensors，and SO on． The preparations of ZnO nano-materials have been widely reported，we mainly used thermal evaporation and chemical vapor deposition，and MBE method，two methods．Among them，the thermal evaporation and chemical vapor depositio