微型光谱仪的发展资料.pdfVIP

!!# 器件与技术 !!# $%’(% ) *%(+,-.-/0 微型光谱仪的发展 鞠 挥，吴一辉 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 $%’’ ） 摘要：随着!!#、微光学等微制造技术的发展，光谱仪器的微型化成为可能，光谱仪的微型 化是光谱仪器的一个重要发展方向。本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作，对微 型光谱仪的发展进行了比较全面的综述，最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结。 关键词：微型光谱仪；微机电系统；微光学；微制造技术 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） 67! 689:! ’ !;9 !599; $$ $ !5$$$5$= !#$%’() %* ’+,-% .,)-%’)-. 4 8?@ ，A4 B@5C?@ （ ， ， ， ） !#$%’$ ($)*+*’*, -. /0 *+) #$1 2+$, 3,#$+) #$1 45) +) !+$,), 6 #1,75 -. 8+,$,) !#$%’$ !$$ !+$# /0.)-1,) ：DE F./*1.G H*GG@F+. E* 1@)@2E?(@I. GH./E(*1.E.(G J@EC EC. ,.K.+*H1.)E *L 1@/(*L2F(@/25 E@*) E./C)@M?.G G?/C 2G NONP ，1@/(**HE@/G: 6C. 1@)@2E?(@I2E@*) *L GH./E(*1.E.(G @G 2) @1H*(E2)E J2Q E* ,.K.+*H GH./E(2+ 2)2+QG@G @)GE(?1.)EG: DE @G (.K@.J., EC. H(*R(.GG *L EC. 1@/(* GH./E(*1.E.( @) ,.E2@+ 2//*(,@)R E* EC. (.G.2(/C@)R H(*S./EG ,*1.GE@/G 2), 2F(*2, ，2), G?112(@I., EC. G@R)@L@5 /2)/. *L 1@/(* GH./E(*1.E.(G: 23 4%-5. ：1@/(* GH./E(*1.E.( ；NONP ；1@/(**HE@/G ；1@/(*L2F(@/2E@*) E./C)@M?.G 分光光度计。今天光谱及相关光传感技术已经发展 ! 引 言 成了几十亿美元的产业，光谱技术的应用几乎覆盖 光谱仪器是光学仪器的重要组成部分，它是应 了所有的科学领域，包括医药、化学、地质学、物 用光学原理，对物质的结构和成分等进行测量、分 理及天文学等，从海洋的底部到遥远的宇宙，光谱 析和处理的基本设备，具有分析精度高、测量范围 仪为我们收集周围世界的信息。 大、速度快等优点，广泛应用于冶金、地质、石油 近年来由于环境监测、生物医学、科技农业、 化工、医药卫生、环境保护等领域；也是军事侦 军事分析以及工业流程监控等领域的现代化发展， 察、宇宙探索、资源和水文探测等必不可少的遥感 要求分析仪器小型化、轻量化，在特殊场合 （如环 ［］ 设备 ! 。 保、野外、现场检测、星载分析检测等）还要求仪 对光谱的研究最早可以追溯到#$ 年前，英国 器牢固耐振。因此目前国外仪器的发展趋向于智能