典型微器件的一体化设计模型与方法的研究机械电子工程专业论文.docxVIP

摘要典型微器件的一体化设计模型与方法的研究 摘要 典型微器件的一体化设计模型与方法的研究 摘要 微器件是决定微机电系统(MEMS)功能和性能的关键性部件，设计和制作 出高性能、高灵敏度和抗干扰性强的微器件结构已成为MEMS实用化的关键。 随着微加工技术的提高以及微器件功能集成的需求显著增加，微器件的结构特性 和工作环境呈现出越来越复杂的趋势，迫切需要引入先进的分析方法、设计模型 和设计思想。 本研究以典型的具有谐振结构的MEMS微器件为研究对象，提出了多物理 场工作环境下的微器件的一体化建模和性能解析方法；以提高器件性能和稳定性 为目标，将微器件的工作环境、工艺等纳入考虑范围，对典型微器件的一体化再 设计进行了深入而系统的研究： (1)为提高微器件设计和解析过程中的建模精度，建立了面向微器件最终 输出性能的高精度一体化行为模型，实现了微器件性能的高精度解析和分析；为 提高解析效率，将子结构的模型化方法应用在微器件的一体化建模中，在实现微 器件性能的高效高精度解析的基础上，完成微器件最终输出性能的动力学特性分 析。 (2)考虑到微器件的管理和复用性问题，建立了典型微器件库，以集成信 息系统的方式来对不同类别的微器件进行开发设计和数据管理，形成以器件库为 基础的MEMS设计体系。 (3)为快速获得微器件的宏观性能，提出了面向对象的微器件结构快速建 模方法，使用封装数学模型的模块来表示独