利用扫描电镜全面了解样品.PDF

利用扫描电镜全面了解样品 样品名称 铅电池极片框架 样品类型 金属，固体 是否喷金 未喷金 设备型号 飞纳台式扫描电镜 Phe Pure+ 测试项目 • 扫描电镜 ： 背散射探头 Fu 模式 T 模式 3D 粗糙度重建 二次电子探头 • 能谱： EDS aig 测试目的 表面镀层质量观察 光学导航介绍 借助光学导航显微镜，可以定位到不同位置。操作人员始终明白当前样品所处的位置。对于 想观察的区域，也只需要在光学导航图上点击鼠标左键即可移动至此位置。图 1. 右上小图 中黄框代表当前照片成像位置。 借助右下方电子导航，可以在高倍数下进行更精准的位置导航。 1 图 1. 光学-电子两级导航系统 背散射 Full 模式成像 背散射 Fu 模式成像表征样品的成分（80%）+形貌信息（20%）。在背散射图像下，成像更 亮（白）的区域往往代表此处成分以重元素为主，成像暗（黑）的区域往往代表此处成分含 以轻元素为主。拍照时发现样品存在裂痕区，如图 2 所示。 图 2. 镀层裂痕区 裂痕可能产生于生成环节，也可能产生于运输或制样过程中对样品的弯折。对此，我们使用 更高倍数成像观察。 在 500 与 1000 倍下成像看出裂痕横向的走势平滑，未出现弯折或撕裂产生的锯齿感或撕 裂感，见图 3.a 与图 3.b 。在更高倍数下成像，图 3.c 与图 3.d 可以看出裂痕纵向深入的方向 走势也较为平滑。 2 图 3.a 背散射成像下裂痕位置 500 X 图 3.b 背散射成像下裂痕位置 1,000 X 3 图 3.c 背散射成像下裂痕位置 2,000 X 图 3.d 背散射成像下裂痕位置 5,000 X 更高倍数下对样品进行观察，展示出镀层表面的形貌，图 4 。样品表面存在黑色斑点。由于 背散射成像性质，可以推断此处成分元素较轻，也有可能为陡直的坑。分别使用背散射 T 模式，3D 粗糙度重建系统，二次电子模式，以及能谱对此处进行深入分析。