基于边缘剪切转移技术制备硅基柔性光波导.pdf

基基于于边边缘缘剪剪切切转转移移技技术术制制备备硅硅基基柔柔性性光光波波导导 郭庆磊, 张苗, 狄增峰, 黄高山 and 梅永 Citation: 中国科学: 物理学 力学 天文学 46, 044610 (2016 ); doi: 10.1360/SSPMA2015-00429 View on ine: /doi/10.1360/SSPMA2015-00429 View Tab e of Contents:/pub isher/scp/journa /SSPMA/46/4 Pub ished by the 《中国科学》杂志社 Articles you may be interested in 硅基集成光波导放大器的最新研究进展 中国科学: 物理学 力学 天文学 47, 127301 (2017); 图案化SiC和SiCN陶瓷微结构的制备 中国科学E辑: 技术科学 36, 515 (2006); 用载能离子束辐照技术制备的激光晶体光波导 中国科学: 物理学 力学 天文学 43, 810 (2013); 用AT RP方法制备聚苯乙烯/纳米二氧化硅杂化粒子 中国科学B辑: 化学 36, 393 (2006); 硅基GaN蓝光LED外延材料转移前后性能 中国科学E辑: 技术科学 36, 733 (2006); 中国科学: 物理学 力学 天文学 2016 年 第46 卷 第4 期: 044610 《中国科学》杂志社 SCIENTIA SINICA Physica, Mechanica Astronomica SCIENCE CHINA PRESS 论 文 可延展柔性光子/ 电子集成器件专辑 基于边缘剪切转移技术制备硅基柔性光波导 ①② ② ②* ① ①* 郭庆磊 , 张苗 , 狄增峰 , 黄高山 , 梅永丰 ① 复旦大学材料科学系, 上海 200433; ② 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 信息功能材料国家重点实验室, 上海 200050 *联系人, 狄增峰, E-mail: zfdi@; 梅永丰, E-mail: yfm@ 收稿日期: 2015-08-25; 接受日期: 2015-11-11; 网络出版日期: 2016-02-03 国家自然科学基金( 批准号: 、高等学校博士学科点专项科研基金( 编号: 20120071110025)和上海市科学技术委员会基础研究重大重点项目(编号: 14JC1400200)资助 摘要 无机柔性光电子技术由于具有柔性、便携、大面积等优点而受到科研人员的广泛关注, 并取得了长足 的进展. 制备无机柔性光电子器件的技术关键是将传统刚性衬底上的纳米“构筑单元”(Building Blocks) 以一种可 控的、精确的、具有超高对准度的方式集成在柔性基底上. 本文针对“转印”(Transfer Printing)技术中纳米“构筑单 元” 向柔性衬底集成时的可控转移及确定性组装(Deterministic Assembly)等难题, 提出了边缘剪切转移技术, 实 现了柔性硅纳米带阵列在柔性基底上的制备及确定性组装. 结合悬臂梁模型及有限元模拟, 得出悬空硅纳米带 内部在边缘剪切转移过程中所产生的应力与其厚度、宽度之间的函数关系. 此外, 本文还研究了不同方向硅条带 在边缘剪切转移的过程中所制备硅纳米带的边缘形貌, 并优化初始硅条带的方向, 得到边缘平整的硅纳米带. 最终, 利用该技术制备出柔性衬底上的硅基光波导. 关键词 边缘剪切转移, 纳米薄膜, 硅波导, 柔性光电子技术 PACS: 81.16.-c, 62.25.-g, 42.82.Et, 42.82.Cr 1 引言