《SJT10312-1992-电子束曝光机通用技术条件》.pdfVIP

Si 中华人民共和国电子工业行业标准 sJ/T10312-92 电子束曝光机通用技术条件 1992-0-15发布 1992-12-01实施 中华人民共和国机械电子工业部 发布 中华人民共和国电子工业行业标准 电子束曝光机通用技术条件 SJ/T10312- 92 Generalspecificationofelectronbeam exposures六itme 主要 内容与适用范圈 本标准规定了电子束曝光机(以下简称曝光机)的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝 光机 。 引用标准 SJ/Z1793 电子工业专用设备油漆涂层技术条件