基于聚偏氟乙烯（PVDF）薄膜新型SPM测头.PDFVIP

2009 年第 43 卷 №5 95 基于聚偏氟乙烯( PVDF) 薄膜的新型 SPM 测头 结构及性能研究 侯茂盛 　黄强先 　杨朋桢 合肥工业大学 摘 　要 :为了对柔软易损坏材料以及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量 ,研制了一种采用 PVDF ( ) 薄膜和压电驱动器 PZTactuator 结合钨探针构成的新型 SPM 测头 。介绍了测头的构成和工作原理 ,并通过一系列 ( ) 相关实验 ,确定了测头的相关参数和性能 如薄膜的尺寸参数 、所构成振动梁的品质因素及弹性常数等 ,初步证实