支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响.pdf

第远卷摇 第员期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援远摇 晕燥援员 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员猿年圆月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 云藻遭援圆园员猿 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员猿冤园员鄄园园缘苑鄄园苑 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 鄢 王摇 平 袁田摇 伟袁王汝冬袁王立朋 渊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室袁吉林长春员猿园园猿猿冤 摘要院为了设计光刻物镜的支撑结构袁建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型袁研究了该模型中支撑应力与折射率 的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响遥 首先袁根据晶体理论袁建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系 的仿真模型遥 然后袁分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系遥 最后袁分析了支撑应力造成的透射波前 畸变的性质袁并选择合适的物镜支撑结构遥 研究结果表明院光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影 响院猿点支撑的波前畸变孕灾值为猿郾远怨灶皂曰随着支撑点数量的增加袁支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少曰采用大于怨 点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求遥 关摇 键摇 词院光学设计曰光刻投影物镜曰波前畸变曰应力双折射曰融石英曰元件支撑 中图分类号院栽匀苑园猿曰栽晕猿园缘援苑摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员猿园远园员援园园缘苑 陨灶枣造怎藻灶糟藻燥枣皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则藻泽泽燥灶憎葬增藻枣则燥灶贼凿蚤泽贼燥则贼蚤燥灶 燥枣造蚤贼澡燥早则葬责澡蚤糟燥遭躁藻糟贼造藻灶泽 鄢 宰粤晕郧孕蚤灶早 袁栽陨粤晕宰藻蚤袁宰粤晕郧砸怎鄄凿燥灶早袁宰粤晕郧蕴蚤鄄责藻灶早 渊杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣粤责责造蚤藻凿韵责贼蚤糟泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽 葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院葬造藻曾援憎燥灶早责岳早皂葬蚤造援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院栽燥凿藻泽蚤早灶贼澡藻皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则怎糟贼怎则藻燥枣葬造蚤贼澡燥早则葬责澡蚤糟燥遭躁藻糟贼造藻灶泽袁贼澡藻蚤灶枣造怎藻灶糟藻皂燥凿藻造燥枣皂燥怎灶贼蚤灶早 泽贼则藻泽泽燥灶贼澡藻造藻灶泽憎葬增藻枣则燥灶贼凿蚤泽贼燥则贼蚤燥灶憎葬泽遭怎蚤造贼援 栽澡藻则藻造葬贼蚤燥灶遭藻贼憎藻藻灶皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则藻泽泽葬灶凿则藻枣则葬糟贼蚤增蚤贼赠葬灶凿贼澡藻 蚤灶枣造怎藻灶糟藻燥枣皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则藻泽泽燥灶贼澡藻憎葬增藻枣则燥灶贼凿蚤泽贼燥则贼蚤燥灶燥枣贼澡藻造藻灶泽憎藻则藻泽贼怎凿蚤藻凿援 云蚤则泽贼袁遭葬泽藻凿燥灶贼澡藻糟则赠泽贼葬造 贼澡藻燥则赠袁贼澡藻则藻造葬贼蚤燥灶泽澡蚤责燥枣造藻灶泽皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则藻泽泽葬灶凿憎葬增藻枣则燥灶贼凿蚤泽贼燥则贼蚤燥灶燥枣葬枣怎泽藻凿泽蚤造蚤糟葬造藻灶泽憎葬泽藻泽贼葬遭造蚤泽澡藻凿援 栽澡藻灶袁贼澡藻蚤灶枣造怎藻灶糟藻燥枣凿蚤枣枣藻则藻灶贼造藻灶泽皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则怎糟贼怎则藻泽燥灶贼澡藻造藻灶泽憎葬增藻枣则燥灶贼凿蚤泽贼燥则贼蚤燥灶憎葬泽葬灶葬造赠扎藻凿援 云蚤灶葬造鄄 造赠袁贼澡藻责则燥责藻则贼蚤藻泽燥枣造藻灶泽皂燥怎灶贼蚤灶早憎葬增藻枣则燥灶贼凿蚤泽贼燥则贼蚤燥灶憎藻则藻则藻泽藻葬则糟澡藻凿袁葬灶凿贼澡藻枣蚤贼贼藻凿造藻灶泽皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则怎糟贼怎则藻 憎葬泽泽藻造藻糟贼藻凿援 粤灶葬造赠泽蚤泽则藻泽怎造贼泽蚤灶凿蚤糟葬贼藻贼澡葬贼贼澡藻造藻灶泽皂燥怎灶贼蚤灶早泽贼则藻泽泽澡葬泽 葬早