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ICS31.020
L 97
备案号:2084一1998 SJ
中华人 民共和 国电子行业标准
SJ/T 11181一1998
净化涂胶台通用规范
Generalspecificationforresist一coating
stagewithpurifiedroom
1998-03-11发布 1998-05-01实施
中华人民共和国电子工业部 发布
前 言
本标准是根据国内净化涂胶台的技术条件，参照国外同类设备技术资料进行编制的。
本标准由电子工业部标准化研究所归口。
本标准起草单位:电子工业部半导体专用设备研究所。
本标准起草人:赵怀科、黄燕。
中华 人 民共 和 国 电子 行业 标 准
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