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表面波等离子体天线的能量衰减系数研究勘删硼嘶册
第29卷第3期 真空科学与技术学报
2009年5、6月 CHINESE OFVACUUMSC匝NCEANDTECHNOIDGY
JOURNAL
表面波等离子体天线的能量衰减系数研究
位朝垒1王世庆2。 鄢泽林2李 建2孙乃峰1
(1.核工业西南物理研究院成都610041;2.成都理工大学工程技术学院乐山614007)
PowerAttenuationofPlasmaAntennaExcitedSurfaceWave
by
Wei Jian2,Sun
Chaoleil,Wangshiqin孑。,Y锄Zelin2,LiNaifen91
(1.勘删硼嘶册Institute
ofPhysics,c^啦610041,Ch/na;2.The西卿船莉曙
T耐miccd 614007,Ch/na).
C“legeofCh觑gd,,U,妇rs/ty矿Techndogy,Leshan
Abstractne attenuationofthesurfacewave antennawas studiedonthebasisof
power plasma theoretically power
balance ofthe column and the Was
prineipium.111edependence lengIh input evaluated;
plasma plasmadensi哆on power
of
theaxialdistributionthe attenuationcoefficientofthesurfacewave antennaWas calculated.
power plasma analytically
aUenuationcoefficientwascalculatedafterthecolumn at of and
0.5Pa,6Pa40Pa,the
‰power lengthpressures input
and weremeasured.Theresults thatthe coefficientatzinthecolumniSin.
the show attenuation
power plasmadensity
tothe betweenzandthe ofthe colmnn.r111ecalculatedresults wellwith
separation
verselyproportional top plasma agree
the
experiment.
Plasma
antennas,Plasma coefficient,Surfacewave
Keywords density,Auenuation
摘要根据功率平衡原理,得到了表面波等离子体天线中等离
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