《SJT11131-1997-蒸发镀膜设备基本参数系列》.pdfVIP

ICS31.020 I.95 备案号:700-1997 JJ 中华人 民共和 国电子行业.标准 SJ/T 11131一1997 蒸发镀膜设备基本参数系列 Basicparameterseriesof evaporationplatingequipment 1997-09-03发布 1998-01-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 前 言 本标准是SJ1098-77高《真空蒸发设备参数系列》,SJ1099-77(超高真空蒸发设备参数 系列》合并的修订版。 本版本对前版两项标准的重要技术内容改变如下: 改变了标准名称; 根据蒸发镀膜设备的用途和发展，对基本参数项目和数值作了补充和调整; 取消了电极对数、离子轰击、工作架转速、真空系统配置等辅助性和可变动性参数。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位:成都南光实业股份有限公司。 本标准起草人:陈华先、谭丽、康开丽。 中华 人民共和 国电子行业标 准 SI/T 11131一1997 蒸发镀膜设备基本参数系列 代替 8J1098-77 盯 1099-77 Basicparameterseriesof evaporationplatingequipment 范 围 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3x10-3P二一5x]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。 2 定义 本标准采用下列定义。 2.1极限压力ultimatepressure 泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。 2.2 恢复真空抽气时Inpumpingdowntimeofrecovervacuum 在规定的操作程序下，蒸发室从大气开始抽至规定压力所需要的时间。 2.3漏气速率leakthroughputofavacuumsectem 蒸发镀膜设备真空系统，由于漏气渗入到真空系统中、并影响真空容器中压力的气体流 量。 2.4 I件加热均匀度heatinguniformtemperatureofworkpieces 工件烘烤时，在被镀工件与烘烤装置之间，距工件表面规定距离处的有效加热区内的温度 均匀程度。 3 墓本参数 3.1 蒸发镀膜设备的蒸发室尺寸、极限压力、恢复真空抽气时间、工件加热均匀度、工件烘烤 温度调节范围和蒸发源功率应符合表1的规定。 3.2 蒸发镀膜设备的漏气速率应符合表2的规定。 中华人民共和国电子工业部 1997-09-03批准 1998-01-01实施 一 t 一 SI/T11131一1997 表 1 参 数 名 称 参 数 数 值 蒸发室尺寸 钟罩式(内径) 320,400,50