《SJT11184-1998-显影设备通用》.pdfVIP

ICS31.020 L 97 备案号:2087-1998 Si 中华人民共和 国电子行业标准 SJ/T 11184一1998 显影设备通用规范 Generalspecificationfordevelopingequipment 1998-03-11发布 1998-05-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 前 言 本标准是对SJ3194-89(显影设备通用技术条件)的修订版本。 本标准与SJ3194-89的主要技术差异如下: a) 增加了定义; b) 增加了安全和环保的要求; c) 扩大了显影设备的使用范围，提高了对性能指标的要求。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位:西北机器厂。 本标准主要起草人:马化营、王彦宁