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- 2019-01-27 发布于安徽
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第1 章 绪论1
1.1 晶体硅太阳电池制结工艺现状及发展1
1.1.1 POCl3 液态源热扩散制结1
1.1.2 离子注入发射极技术3
1.1.3 HIT 异质结电池技术4
1.1.4 低温气相外延制结5
1.2 低温外延工艺在太阳电池领域中的应用8
1.3 本论文所研究的内容及意义9
1.3.1 低温外延制备掺杂晶体硅薄膜9
1.3.2 低温外延制备晶体硅pn 结的初步研究9
1.3.3 本文研究意义9
第2 章 低温气相外延法制备掺杂晶体硅薄膜 11
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