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- 2019-02-04 发布于天津
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原位退火温度对Mg2Si薄膜结构及方块电阻的影响
低 温 物 理 学 报 ,
第 卷 第 期 Vol.39No.5
39 5
年 月 Oct2017
2017 10 CHINESEJOURNALOFLOW TEMPERATUREPHYSICS
原位退火温度对M Si薄膜结构及方块电阻的影响∗
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马新宇1 陈 茜1† 廖杨芳12 肖清泉1 陈 庆1 姚紫祎1 谢 泉1
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