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原位退火温度对Mg2Si薄膜结构及方块电阻的影响.pdf

原位退火温度对Mg2Si薄膜结构及方块电阻的影响

低 温 物 理 学 报 ,           第 卷 第 期 Vol.39No.5 39 5 年 月 Oct2017 2017 10 CHINESEJOURNALOFLOW TEMPERATUREPHYSICS 原位退火温度对M Si薄膜结构及方块电阻的影响∗ 2 g , 马新宇1 陈 茜1† 廖杨芳12 肖清泉1 陈 庆1 姚紫祎1 谢 泉1                   

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