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Energy Dispersive X-ray Spectrometric Energy Dispersive X-ray Spectrometric Microanalysis (EDX) with SEM Microanalysis (EDX) with SEM 扫描电镜中的能谱分析 扫描电镜中的能谱分析 谭立和博士 Ph.D. Cambridge EDAX Inc. 内容梗概 内容梗概 扫描电子显微分析基本概念 能谱分析技术理论基础 分析软件结构与操作 – 定性定量分析 – 面分布和线扫描 – 高级应用软件 上机操作 仪器维护与常见问题处理 在本课程中将包含哪些软件? 在本课程中将包含哪些软件? 能谱的定性定量分析 Imaging ，Mapping Line_Scan 成像，面分布图和线扫描 快速和定量成分图 Live Quant Map 图像谱线全息数据恢复 Spectral Mapping 粒度/相分析 Particle-Phase 相群分析PCA ，和元素侦测软件Max_Chanel Spectra 谱峰匹配和处理 Spectra Match Utility 其它 软件操作演示影片 软件操作演示影片 – 影片演示了 GENESIS 软件主要功能的使用方法 – 影片采用 Camtasia 软件录制（见下方提示） – 影片播放为 .exe 自释放执行文件（在1024 ×768 显 示像素下） – 如受计算机操作系统限制，影片不能正常播放， 可先解压缩，以 .avi 文件播放。 参考书目（特别推荐） 参考书目（特别推荐） Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis 用于生物学、材料科学和地质学 Joseph Goldstein, Dale Newbury, David C. Joy, Charles E. Lyman, Patrick Echlin, Eric Lifshin, Linda Sawyer, and Joseph Michael, Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, 2003. 689 pages. (ISBN -- 0-306-47292-9) 3rd Edition, 参考书目 (Lehigh Lab Manual) 参考书目 (Lehigh Lab Manual) Scanning Electron Microscopy, X-Ray Microanalysis, and Analytical Electron Microscopy 一本实验手册 Charles E.Lyman, Dale E. Newbury, Joeseph I. Goldstein, David B. Williams, Alton D. Romig, Jr., John T. Armstrong, Patrick Echlin, Charles E. Fiori, David C. Joy, Eric Lifshin, Klaus-Ruediger Peters, Plenum Press, New York, 1990. (ISBN --0-306-43591-8) 基础知识 基础知识 扫描电镜简介及EDS系统 – 硬件和软件 X-射线信号的产生 – 信号源，空间分辨率，信号的方向，样品表面 EDS 仪器和信号的检测 – 探头和几何效率，信号处理，能量分辨和准直 系统 基础知识 基础知识 电子束与电子显微镜 为何选用电子束作激发源 为何选用电子束作激发源 能量因素Energy Power : Electron can be accel