Telte5000氧化矽干蚀刻机仪器简介.DOC

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2020-04-08 发布于天津
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Telte5000氧化矽干蚀刻机仪器简介.DOC

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金乾刻器介主要功能利用乾式刻之非等向性特性作特定形之微影程允的可刻材料等基之材料使用限制本台於半程後段台保持上程定度避免不晶片行刻造成重污染管制入本台之晶片材及未取得使用格之操作人禁用非上程或可的光阻禁用玻璃基板三五族或是金材料若反上述定查者使用格台介科林研代理台身份全名藕合金刻位置奈米工程薛富代理人志明台人薛富作域化品大宗特殊瓶化品有化合物酸氧化物其他程模式或反腔反腔真空度抽真空泵浦尾排放物抽尾泵浦尾排放有立之有燃及水洗方式的理器反腔度冷系供冷水造商或代理商代理商工程行更新日期

TCP 9600SE金屬乾蝕刻機儀器簡介 1.主要功能: 利用乾式蝕刻之非等向性特性製作特定形狀之圖樣(微影製程允許的) 2.可蝕刻材料: Al-Si-Cu、Ti/TiN等Si基礎之材料 3.使用限制: 本機台屬於半導體製程後段機台為保持線上製程穩定度，避免不當晶片進行蝕刻造成chamber嚴重污染，將從嚴管制進入本機台之晶片材質及未取得使用資格之操作人員。禁用非NDL線上製程或經認可的光阻禁用玻璃基板三五族或是金、銀、銅材料若違反上述規定經查獲者將註銷使用資格，並報請NDL懲處。 4機台設備簡介 Factory: LAM RESEARCH CO., L