Q_LBY 0004-2018多弧离子镀膜机.pdf

Q /LBY 辽宁北宇真空科技有限公司企业标准 Q/LBY 0004-2018 多弧离子镀膜机 Multi-ArcIon Coater 2018-05-15发布 2018-05-15实施 辽宁北宇真空科技有限公司 发布 前 言 本标准依据： GB/T 3164-2007 真空技术系统图用图形符号 GB/T 6070-2007真空法兰 JB1090-1092-1991真空动密封型式及尺寸 JB/T 6921-2008 罗茨真空泵机组 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 13306 标牌 JB/T 7673-2011 真空设备 型号编制方法 基本要求包括术语和定义、型式与基本参数、技术要求、设备检验及 其品质评价、质量承诺、标志、包装、运输与贮存。 本标准于发布之日实施 本标准由辽宁北宇真空科技有限公司提出。 本标准起草单位：辽宁北宇真空科技有限公司 本标准主要起草人：关秉羽。 1 辽宁北宇真空科技有限公司 电话：024传 ：024 多弧离子镀膜机 1 范围 本标准规定了多弧离子镀膜机 （以下简称设备）的型式与基本参数、技术要求、设备检 验及其品质评价、质量承诺以及标准、包装、运输和贮存。 本标准适用于： ——电弧蒸发离子镀膜设备； ——磁控溅射离子镀膜设备； ——部分连续卷绕镀膜设备。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其 随后所有的修改单 （不包括勘误的内容-用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各 方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不标注日期的引用文件，其最新版本适用于本 标准。 GB/T 191 包装储运图示标志 （GB/T 191-2008，ISO 780:1997，MOD） GB/T 13306-2011 标牌 GB/T 3164-2007 真空技术系统图用图形符号 GB/T 1164-201 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T 6070-2007真空法兰 GB/22360-2008 真空泵安全要求 JB1090-1092-1991真空动密封型式及尺寸 JB/T 6921-2008 罗茨真空泵机组 JB/T 7673-2011 真空设备 型号编制方法 JB/T 8946-2010 真空离子镀膜设备 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标注。 3.1 镀膜源 coating source 磁控溅射阴极，电弧阴极能提供气相镀膜原料的器件。 3.2 真空离子镀膜 vacuum ion coating 在真空条件下，利用低气压气体放电，使由镀膜源提供的原料 （原子、分子、微粒）被 部分地离化，生成的正离子在偏压电场作用下，以适当的动能沉积在基片上，形成具有不同 功能或特性的薄膜。 3.3镀膜能力 coating capability 镀膜设备在正常工作条件下，在基片上涂覆一种典型膜层 （例如铬与石墨），一个工作 周期内，在基片上所能生成膜层的最大体积 （最大可用的基片面积与平均膜厚之积）除以工 作周期。工作周期为装卸工作时间、抽气时间、镀膜时间之总和。 3.4极根压力：泵在工作时，控载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。 3.5漏率：在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。 4 型式与基本参数 4.1 结构型式 设备主要由抽气系统、真空室、镀膜系统、电控系统、水冷系统、气动系统、供气系统 等部分