光纤式表面粗糙度的测量摘要本文根据表面轮廓粗糙度调制原理.DOC

光纤式表面粗糙度的测量 摘要：本文根据表面轮廓粗糙度调制原理，采用计算机控制的淡漠光线探针扫描技术及相应的信号处理电路，提出了智能化光线探针式轮廓仪，文中对一起构成原理的想、有关理论基础及关键技术进行了介绍，最后利用本测量技术进行了实验测量，给出了实验结果及误差分析。介绍了一种基于光纤传感技术的光学针描法粗糙度测量技术．它根据微观表面轮廓对光信号的调制原理，采用计算机技术进行测量控制、数据采集与处理，从而实现对表面粗糙度各常用参数的测量，并给出被测表面的轮廓图形．文中对有关测量原理及其关键技术进行了介绍，给出了实验结果及误差分析 关键词：粗糙度 单模光纤探针 轮廓调制 智能化 引言：本文利用单模光纤探针在表面粗糙度测量中作为粗糙度传感器，使之成为粗糙度测量中的一种新技术。在金属表面粗糙度的传统测量方法中，以触针式轮廓仪为典型代表，针对触针式轮廓仪的缺点，如触针的磨损、对被测表面的划损和触针圆角半径对测量精度的影响等问题，曾提出了以光纤束传感器为基础的粗糙度测量方法。这种方法具有非接触测量的优点，且结构简单、使用方便，但存在着测量精度低、得不到表面轮廓曲线等缺点。为此本文又提出了以多模光线探针式为基础的粗糙度测量新原理，并给出了实验结果。为了进一步图稿测量精度，本文对单模光纤探针粗糙度测量进行了理论分析和实验研究。单模光纤与多模光纤相比，具有纤芯细、探针尺寸小、测试精度高等优点。这种测量方法的基本原理是利用单模光纤探针直接测出被测表面轮廓围观不平度的平均间距SM、轮廓的单峰平均间距S和被测表面的沦落曲线、通过进一步计算，还可得到轮廓算术平均偏差RA和支承长度率Tp值，宗旨，利用本方法可以得到国家标准规定的全部六个粗糙参数，即Ra、Ry、Rz、S、Sm、tp，以及微观表面轮廓曲线。全面测量由计算机控制，实现了智能化。 1.光纤式表面粗糙度测量国内外现状、结论 1.1 表面粗糙度的概念 表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），用肉眼是难以区别的，因此它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。表面粗糙度的大小，对机械零件的使用性能有很大的影响。 1.2表面粗糙度发展状况 为研究表面粗糙度对零件性能的影响和度量表面微观不平度的需要，从20年代末到30年代，德国、美国和英国等国的一些专家设计制作了轮廓记录仪、轮廓仪，同时也产生出了光切式显微镜和干涉显微镜等用光学方法来测量表面微观不平度的仪器，给从数值上定量评定表面粗糙度创造了条件。表面粗糙度仪 　　从30年代起，已对表面粗糙度定量评定参数进行了研究，如美国的Abbott就提出了用距表面轮廓峰顶的深度和支承长度率曲线来表征表面粗糙度。1936年出版了Schmaltz论述表面粗糙度的专著，对表面粗糙度的评定参数和数值的标准化提出了建议。但粗糙度评定参数及其数值的使用，真正成为一个被广泛接受的标准还是从40年代各国相应的国家标准发布以后开始的。 　　首先是美国在1940年发布了ASA B46.1国家标准，之后又经过几次修订，成为现行标准ANSI/ASME B46.1-1988《表面结构表面粗糙度、表面波纹度和加工纹理》，该标准采用中线制，并将Ra作为主参数；接着前苏联在1945年发布了GOCT2789-1945《表面光洁度、表面微观几何形状、分级和表示法》国家标准，而后经过了3次修订成为GOCT2789-1973《表面粗糙度参数和特征》，该标准也采用中线制，并规定了包括轮廓均方根偏差即现在的Rq在内的6个评定参数及其相应的参数值。另外，其它工业发达国家的标准大多是在50年代制定的，如联邦德国在1952年2月发布了DIN4760和DIN4762有关表面粗糙度的评定参数和术语等方面的标准等。 　　以上各国的国家标准中都采用了中线制作为表面粗糙度参数的计算制，具体参数千差万别，但其定义的主要参数依然是Ra或Rq，这也是国际间交流使用最广泛的一个参数。 1.3光纤式光散射法表面粗糙度测量 对平面和一般圆柱形外表面的粗糙度，一可用触钊一式仪器很力一便地进行测量。然而对于内孔、凹槽、沟槽，尤其对一些形状复杂的零件表面，如塑料成型模具，轮机卜片及精密机构的某些零件等，因为它们的表面是由三维曲面组成的，而且对一表而粗糙度要求很高，甚至要求加工成镜面，触针式仪器由于固有的特性，无法对其进行测量。 　　随着光纤技术的飞速发展，光纤传感技术应运而生。光纤用于传感是光电子技术的新结晶，它具有常规检测技术不可比拟的诸多优点，而且能实现“传”和“感”的合二为一。光导纤维不仅抗电磁干扰能力强、灵敏度高，透光性、电绝缘性以及无感应性好等优点，而且还具有径细、量轻，可挠曲、柔软性好，在实际使用中，光纤几乎不受弯曲效应的影响等