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微电子工艺实习实践教学研究 　　摘 要：微电子专业包含半导体工艺、器件以及集成电路等相关研究方向，是21世纪我国重点发展的技术方向，与国家经济、科技发展密切相关。针对本科教学过于偏重理论课程，导致学生很难在工作中迅速掌握实用技能的现状，各高校正在逐步提高实践教学比例。开设微电子专业学生的工艺实习课程，能够使学生更加直接的接触半导体行业核心技术，通过亲身体验了解半导体器件、集成电路生产等的加工与设计之间的关系，从而促进学生对半导体器件、集成电路设计等课程的学习。开展工艺实习课程是微电子专业学习的重要实践环节，对后续学习、研究奠定重要基础。　　关键词：微电子 集成电路 实习实践　　中图分类号：G482 文献标识码：A 文章编号：1674-098X10-0241-02　　目前微电子专业得到广泛重视，我国从战略高度将其确定为优先发展的产业。无论军用还是民用方面都对微电子尤其是集成电路方向人才需求旺盛，这在发展集成电路方面是难得的机遇，同时也面临挑战。这也致使高校学生过于偏重集成电路设计学习，忽视工艺方面的研究，导致学生对集成电路实际工艺偏差对所设计的器件影响理解不够深入，很难设计出性能优越的半导体器件以及集成电路。开展本科生半导体工艺实习，成为半导体以及微电子学科的必然要求。本文将从工艺实习的必要性、如何开展工艺实习等方面探讨在实践教学中的微电子专业学生培养方法[1]。　　1 开