MASK介绍与曝光机原理.docVIP

可编辑版 Word完美格式 MASK介绍与曝光机原理 Mask说明： 将mask上的图形通过曝光（UV光），复制到玻璃基板上，通过显影等方式，形成CF图形。 mask样图： Mask规格 一、mask规格 1. 适用范围 本规格书适用于清溢精密光电(深圳)有限公司为湖南普照爱伯乐显 示器件有限公司提供的苏打玻璃铬版。 2.铬版规格  铬版原材料 项目 规格 材质 苏打玻璃 玻璃外形尺寸 ** X ** mm 玻璃基版厚度 4.8±0.2 铬膜厚度 1000?±100? 反射率 10.0±5％(at 436nm) 铬膜光学密度 3.0±0.3 (at 450nm) 尺寸精度 项目 规格 产品区分 CF 外形尺寸精度 ±1 图形居中精度 ±1 最小线缝范围 W≥5um 线缝精度 ±1 um 总长精度 ±2 um 套合精度 ±2 um 说明： 总长、套合精度清溢的测量温度为 21±0.1 本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。 -p3 / p12 Document No: Rev.： 清溢精密光电[深圳]有限公司 QINGYI PRECISION MASKMAKING [SHENZHEN] CO.,LTD 尺寸精度量测方式 项目 规格 线缝精度 测量贵司整版图形中最小的线(缝)宽 整版测量图形 中靠四个角的单粒和图形中间位置单粒 (共五个单粒)，每个单粒选取两根线(缝)测量 (共 10 条),如图一所示 ①② E ③④ C ⑤⑥ D B ⑦⑧ ⑨⑩ F 产品型号 A 图一 * 若贵司图形中最小线缝超越报价评审的最小线缝范围和线缝精度，或贵司要求测量其它位置，应事先通知协商. 外形尺寸精度 测量铬版上两长边之间的距离及两短边之间的距离并 计算与设计值的偏差，即图一中 A、B 的测量值与设计值的偏差. * 若贵司需指定测量位置，应事先通知协商 图形居中精度 测量铬版上图形四周边缘与铬版边缘的距离并计算与 设计值的偏差，即图一中 C、D、E、F 的测量值与设计值的偏差 * 若贵司需指定测量位置，应事先通知协商 本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。 -p4 / p12 Document No: Rev.： 清溢精密光电[深圳]有限公司 QINGYI PRECISION MASKMAKING [SHENZHEN] CO.,LTD 总长精度 测量 MASK 图形中长边及短边指定标记之间的距离并计 算与设计值的偏差；一般选取靠近图形边缘的四个十字 标记，测量之间的距离。如图二所示 P1、P2、P3、P4 四个标记之间的距离： P4 P3 P1 P2 图二 *普通等级的铬版出货时不测量总长，如贵司需测量， 或贵司需指定测量标记，应事先通知协商 套合精度 *测量 MASK 图形中长边及短边指定标记之间的距离并计 算与同一套版中其它 MASK 的偏差；一般选取靠近图形边缘的四个十字标记，测量之间的距离。如图二中 P1、 P2、P3、P4 四个标记之间的距离： *普通等级的铬版出货时不测量套合，如贵司需测量， 或贵司需指定测量标记，应事先通知协商 本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。 -p5 / p12 Document No: Rev.： 3.缺陷规格 3-1 缺陷区域定义  清溢精密光电[深圳]有限公司 QINGYI PRECISION MASKMAKING [SHENZHEN] CO.,LTD 区域 定义 A 区 图形关键显示区域 B 区 对位标记、引线区等非关键显示图形 C 区 填充块、单粒中间、图形旁边等非图形区域 D 区 图形区边缘距铬版边缘的区域 E 区 产品标识 ? 若贵司对缺陷区域定义有差异，需事先通知协商。 示意图： 本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。 -p6 / p12 Document No: Rev.： 3-2 各区域缺陷规格  清溢精密光电[深圳]有限公司 QINGYI PRECISION MASKMAKING [SHENZHEN] CO.,LTD 项目 规格 针孔 A 区：W≤5um (且≤线宽 1/3) X B 区：W≤10um (且≤线宽 1/3) Y C 区：目视看不到即可 D 区：无定