第五代TFT1LCD的制屏工艺.pdf

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第五代TFT1LCD的制屏工艺

! ! # !# $%’ !!#$% ()*+, 文章编号! # !#$#%# %’ $()$% 第五代)*), 012 的制屏工艺 郑圣德 第五代 生产线 的全称为第五代 ! 涂膜与固化 )*) +, - ./ ! = 非晶硅薄膜晶体管液晶显示器 生产线! 已成功量产的第一条五代线采用了三辊印刷涂 )*), 0123 4 玻璃基板尺寸有 # 或 膜方法! 其顺序为 定量落料 印刷涂膜 预烘 固 ’’55 6’!#5 7 7 ’’55 8’955 ; ! ! ! 等几种 可切割出 张 英寸的显示屏 与 化 7 7 # ! ’! ’% ! ! 第四代生产线相比在基本相同的工艺流程下 工效 聚酰亚胺液体通过一根点液针定量落料 然后 : : : 提高了一倍$已进入了稳定量产的阶段 工艺技术已 利用调节滚筒 靛蓝液氧滚筒和版胴 意译为刮刀 : 3 经成熟 辊 均胶辊 版 三只独特的滚筒均胶后 转印 ! C=D 4 $ 液晶制屏工艺包括从玻璃基板到显示器件的整 在基板的指定范围内 由调节滚筒推压 网眼大小 ! $ ! $ ! 个制作过程 分二个阶段运作 第一阶段 首先将1* 移动速度和液体浓度等来控制膜厚 涂膜后经过预 基板和 基板在进入制屏阶段后分成两条线同时 烘$送至坚膜炉在 左右的温度下进行固化 最 )*) !#5 E : 运行 第二阶段 在对位压合工序中将两条线合成一 终形成厚度为 埃的定向膜 $ $ ! FGH 条生产线! 具体工艺如下; 9 ! 磨擦和清洗 基板 清洗和干燥 涂膜与固化 定 定向摩擦

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