YS/T 26-1992硅片边缘轮廓检验方法.pdf

中华人民共和国有色金属行业标准 硅 片边缘 轮廓检验方法 YS/T 26一92 生题内容与适用范围 本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。 本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓 方法提要 将硅片沿径向划开形成剖面，借助光学投影仪将其放大，聚焦使剖面清晰地投影到显示屏上与标 准模版相比较 硅片边缘剖面投影轮廓处在标准模版允许区域内，则硅片边缘轮廓为合格;否则为不合 格 3 测量仪器 3 1 光学投彭仪放大倍数为50X或loox,载物台在二和v方向卜可移动 脚 硅片夹具 应能使硅片表面平行于光路，使硅片边缘轮廓清晰地投影在显示屏上。 标准测微尺:长度为。.5-1.0mm，绝对误差小于5umo 抽样与制样 4.1抽样方案及试祥测量点的位置和数目由供需双方商定 4.2 在确定的测量点处沿径向划开硅片，制取试样。 检验步骤 5门 检验用的标准模版图形如图1，其特征点坐标和基本尺寸应符合图2和表1的规定 标准模版的 制作方法按图1,图2,表 1的规定。 正面 it 431 背面 图工 标准模版图形 中国有色金属工业总公司1992一03一09批准 1993一01一01实施 YS/T 26一92 A 图2标准模版特征点坐标 表 1 标准模版特征点坐标值 特 征 点 A B C D 76 508 51 0 y 0 0 1/3硅片厚度 76 乐 t J . l 将标准模版基本尺寸乘以投影仪的放大倍数 乐 t 弓 ‘ 按放大后的模版尺寸，在透明材料(如玻璃、描图纸)上按照图1描制与硅片厚度相当的标准模 版 0 乐 2 检查投影仪放大倍数 5 Z 月 . 1 调节投影仪。使用5ox或loox放大镜头.将标准测微尺投影到显示屏上 5 Z 乙 口 用精度0.5mm的直尺测量投影长度。 乐 Z q 曰 核算投影仪放大倍数。 5 3 按硅片厚度和放大倍数选择相当的标准模版，放置在投影仪显示屏上。 乐 4 将试样放入夹具内，置于载物台上，使试样剖面垂直于光路。 乐 5 调节投影仪，使试样显示出清晰的边缘轮廓 5 6 沿二和v方向调节载物台，将试祥边缘轮廓投影与标准模版相比较 乐 7 判定被测硅片边缘轮廓是否合格: 硅片mil量点处边缘轮廓投影落在标准模版允许区域内为合格;否则为不合格 ::.;硅片边缘上所确定的测量点处的边缘轮廓全部合格，则该片边缘轮廓为合格。 6 精密度 投影仪放大倍数为50上。.5X或10。土1X，其相应的标准模版尺寸精确到。.05mrti或。.1mm,在 此条件 「，单个实验室检验重复性达100% 了 试验报告 试验报告应包括以下内容: 硅片编号; b. 硅片批量及检验试样数量; c 测量点位置及数目; d. 合格硅片数; e. 本标准编号; Ys/f26一92 f. 检验者及检验日期。 附加说明: 本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所提出。 木标准由洛阳单晶硅厂负责起草 本标准主要起草人王从赞、夏光勤 本标准等效采用美国标准ASTMF928--85硅《片边缘轮廓检验方法》