用单源蒸发技术来优化金属合金膜的沉积.pdf

技术 | Technology – 外延 用单源蒸发技术来优化金属 合金膜的沉积 在电子束蒸发中，通过调整蒸发源的位置以及源材料的再补充，可使沉 积的金属合金膜具有高度均匀的化学计量比。 KUOHSIUNG LI, PHIL GREENE; FERROTEC 公司 智能手机使得我们可以打破空间距离上的限 相比，它能够让频谱的使用效率提高 1000 倍， 制，能让我们随时随地和远方的朋友或企 在性能上也将有极大的改进。即使我们是在外 业进行交流或合作。5G 移动网络将会在2020 年 旅行，这种新的移动通讯技术也能随时随地为 得到推广，与如今大规模使用的4GLTE 移动网络 我们提供即时的“虚拟存在”。5G 通信需要进 一步提高对频谱的利用率，这将推动移 动设备中声滤波器件和谐振器件的 图1. Ferrotec公司的Temescal U E F C-4900 电子束蒸发设 大量应用，以减少这种紧密排布频 备具有HULA行星式拱顶结 带在扩展其范围时所产生的干扰问 构。 题。例如，在一些高端的智能手机 中，现在通常就需采用15-50 个不 等的声波器件。 表面声波（SAW ）器件作为大部 分智能手机的关键组成元件，通常是由 合金电极材料构成，来获得它所需的综 合性能。比如说铜铝合金就是SAW 器件中叉指换能器的通用材 料，在铝含量较高时，这种合金就所具有的较小的电阻和较低的 密度等特性来获得最佳的频率响应。铜在合金中的重量比只有2% ， 它在合金中的主要作用是作为铝晶粒之间的“粘合剂”，避免形成 铝的小丘或者孔洞。这样就能通过抑制铝的电迁移现象来增加器 件的可靠性，因为在高温或高功率下电迁移将会使铝晶界发生移 动。2% 的Cu 是最佳含量，铜的含量过高会增加电阻，过低（1% ） 就会失去原有的对电迁移抑制效果。 Ferrotec 公司新一代的Temescal 蒸发设备，具有HULA 行星 式拱顶结构，能够解决溅射或共蒸发沉积金属合金膜的历史性难 题。双轴的行星式旋转的装载晶圆的拱顶，不论是单个晶圆内还 是各个晶圆之间薄膜的厚度均匀性都十分出众（见图 1）。我们还