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PERC电池工艺基础 CC6电池工艺部-2018.07 目录 太阳能电池原理基础 PERC电池结构 氧化铝的作用 氧化铝设备及工艺介绍 PERC电池前景展望 太阳能电池原理基础 半导体基本原理—晶体结构与能带理论 晶体、准晶体与非晶体 导体、半导体与绝缘体 价带、导带与禁带 直接带隙与间接带隙半导体 太阳能电池原理基础 光生伏特效应与pn结 太阳能电池原理基础 晶体硅太阳能电池的极限效率和损失 晶体硅太阳能电池的极限效率？ 太阳能电池原理基础 晶体硅太阳能电池的极限效率和损失 短路电流损失： 面积——栅线的阻挡面积 反射——表面反射的光损失 透过损失——厚度的减薄导致的吸收损失 复合电流——体内和表面的复合电流损失 开压损失 复合损失——非平衡载流子的复合导致的势能损失 转换效率的计算公式： Eff=Isc*Voc*FF/Pin 钝化：减少表面缺陷引起的非平衡载流子的损失 PERC电池结构 PERC (Passivated Emitter and Rear Cell) PERC 电池优势 升级方便：在传统电池工艺基础上增加两个工序即可升级； 电池效率提升明显：多晶1.0%-1.2%；单晶1.2%-1.5%。 PERC电池结构 PERC 电池工艺流程 氧化铝的作用 PERC (Passivated Emitter and Rear Cell)：发射极及背表面钝化的太阳能电池 背表面钝化：降低背表面缺陷态密度，降低背表面复合 提高背面内反射 氧化铝的作用 提高背面内反射率： PERC电池背面氧化铝和氮化硅膜可提升背面发射率，提升长波段光的二次吸收，硅片薄片化后该优势会更明显。 氧化铝的作用 降低背面表面复合 PERC电池背面较常规铝背场结构减少了背面金属接触面积，另一方面氧化铝可以有效的钝化表面缺陷，降低表面态密度，从而降低背表面的复合。 氧化铝设备及工艺介绍 氧化铝的成膜方式 氧化铝设备及工艺介绍 氧化铝工艺原理：PECVD （MAIA） 名称 分子式 用途 TMA Al(CH3)3 工艺气体 笑气 N2O 工艺气体 氩气 Ar 载气 — 工艺气体 — 工艺系统 — 工艺原理 氧化铝设备及工艺介绍 氧化铝工艺原理：ALD （微导、理想、Solaytec、Levitec、NCD） 名称 分子式 用途 TMA Al(CH3)3 工艺气体 水 H2O 工艺气体 氩气/氮气 Ar/N2 载气 — 工艺气体 — 工艺系统 — 工艺原理 PERC电池前景展望 PERC电池工艺路线发展 目前业内PERC电池技术路线基本上经历了三个阶段，第一个阶段是在常规产线上直接进行升级效率可以提升1%；第二阶段是加入热氧化工艺，并优化刻蚀、扩散匹配效率提升至21.7%；第三阶段规模推广将效率提升至22%。 进一步的效率提升方向：1）细栅金属化，MBB；2）双面PERC电池；3）硼掺杂铝背场。预计可以实现23-24%的电池效率。 THANK YOU