阴极蒸发物电子发射现象的研究StudyonElectron.pdf

第33 卷第7 期 电 子 与 信 息 学 报 Vol.33No.7 2011 年7 月 Journal of Electronics Information Technology Jul. 2011 阴极蒸发物电子发射现象的研究 杨靖鑫*①② 阴生毅① 王 宇① 王欣欣① ①(中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室 北京 100190) ②(中国科学院研究生院 北京 100039) 摘 要：为研究钡钨阴极蒸发物的电子发射现象，采用一种新设计的测试装置，对沉积在多晶钨表面上阴极蒸发物 的电子发射曲线进行了采集，利用电子发射显微镜和扫描电镜对蒸发物沉积层的电子发射像、表面形貌和成分进行 了分析。结果表明，电子发射曲线分3 段，即陡升段、快升段和缓升段。分析认为，发射曲线的3 段依次对应着多 晶钨表面的晶界及